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1英寸小型磁控射頻濺射鍍膜儀--VTC-1RF

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更新時間：2022-05-03 10:28:30瀏覽次數：630次

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產品簡介

VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀（射頻磁控型），配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設備主要用于制作非導電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導電薄膜的探索，它是一款廉價并且高效的實驗幫手。

詳細介紹

VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型)，配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設備主要用于制作非導電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導電薄膜的探索，它是一款廉價并且高效的實驗幫手。

我們用此設備得到擇優取向的ZnO薄膜

技術參數

輸入電源	220VAC 50/60Hz, 單相 800W (包括真空泵）
等離子源	一個100W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內配有一13.5MHz,100W的射頻電源（采用手動匹配）可選配300W射頻電源（自動匹配）注意：100W手動調節的RF（射頻）電源價格較低，但是每一次對于不同的靶材，都需要手動設置參數才能產生等離子體，比較耗費時間。300W自動匹配的RF（射頻）電源，價格較昂貴，但比較節約時間。
磁控濺射頭	一個1英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接靶材尺寸: 直徑為25.4mm,大厚度3mm 一個快速擋板安裝在法蘭上（手動操作，見圖左3）濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環水冷機）同時可選配2英寸濺射頭選配2英寸濺射頭靶材尺寸：直徑為50.8mm，大厚度6mm
真空腔體	真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封一個不銹鋼網罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體真空度：<1.010-2 Torr （采用雙極旋片真空泵） <510-5 torr （采渦旋分子泵）
載樣臺	載樣臺可旋轉（為了制膜更加均勻）并可加熱載樣臺尺寸：直徑50mm （大可放置2英寸的基片）旋轉速度：1 - 20 rpm 樣品臺的高加熱溫度為700℃(短期使用，恒溫不超過1小時)，長期使用溫度500℃ 控溫精度+/- 10℃
真空泵	可選用直聯式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統
薄膜測厚儀	一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關數據
質保和質量認證	一年質保期，終生維護 CE認證
使用注意事項	這款1英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜，所以并不需要太高的真空度為了較好地排出真空腔體中的氧氣，建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗2-3次，可有效減少真空腔體中的氧含量請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統過后，再導入到真空腔體內