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高真空蒸發鍍膜儀--GSL-1800X-ZF4

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更新時間：2022-05-03 10:22:19瀏覽次數：256次

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上海添時科學儀器有限公司

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產品簡介

GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些對氧較敏感的金屬膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個蒸鍍加熱頭.對于實驗研究，這是一款鍍膜效果理想并且性價比較高的實驗設備。

詳細介紹

技術參數

電壓	輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相 ( < 3200W ) 輸出： 0 - 8VAC （可調）大電流： 400A （可調）大功率：4000W（包括真空泵）
真空腔體	不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內壁做了電拋光處理有一個150mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）一個RF-150法蘭，便于放入樣品。一個KF-40法蘭,可與真空泵相連接四個CF-35法蘭，便于安裝真空計、電極和其他用途備用
真空泵	儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵和前級泵前級泵抽速：600L/S 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）極限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤溫度為60-80℃）漏氣率：5.0x10-7Pa./S
蒸發加熱源樣品臺	5個水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個鎢加熱舟每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板，所以實驗時可以防止各物料之間的污染，樣品臺安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm 樣品臺可以旋轉和加熱，旋轉速度0-20rpm，加熱高溫度600℃ 蒸發源與樣品臺的距離為250mm
測厚儀	一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內部測量精度為：1.0Å
循環水冷機	儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節約用水，強烈建議使用循環水冷機所需水流量>15L/min
控制單元	真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內控制單元和真空腔體獨立分開，以便于操作
外形尺寸	L600mm× W860mm× H1500mm
凈重	600kg
質保	一年質保期，終生維護
質量認證	CE認證