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上海添時科學儀器有限公司
AC300-SE標準型程控伺服勻膠機產品特點高級伺服電機驅動,高精度、高重復性工業級設計,PLC控制,7寸全彩觸屏操作HDPE內腔,不銹鋼外殼,耐溶劑PC透明蓋可添加背部清洗和去邊膠功能,滿足工業用途可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要適合處理超大或超重底物,處理12寸圓形底物更大尺寸和重型底物以及內腔抽真空等要求均可定制
產品特性優點
1:內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸
2: 采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷
3:采用“密閉碗”設計,可以適應各種材料的勻膠工藝。
4:標準配置的轉速為10000rpm,可以根據用戶需要進行定制
5:采用工業級的伺服電機,電機*的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內部
6:機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。
7:排風和抽氣系統位于載片臺的底部,利于排風效率和勻膠的均一性
8:透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發。
產品參數
轉速范圍:20-5000rpm,10000rpm可選
轉速分辨率:±1rpm
加速度可調范圍:20-10000rpm/s
單步時長:3000s
時間分辨率:0.1s
涂膠均勻性:≤±3%
可編程100組100步程序,更多可擴展
帶四路自動點膠端口,可升級多路自動點膠功能
可配6寸,8寸鋁合金真空載物盤,特殊規格需定制
外型尺寸:463mm(W)*613mm(D)*306mm(H)
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