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軌道式勻膠顯影機

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產品型號SH200-AT

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更新時間：2022-04-28 10:50:07瀏覽次數：206次

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上海添時科學儀器有限公司

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產品簡介

軌道式勻膠顯影機適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝設備配置:2套勻膠（顯影）單元、4套熱（冷）板單元可選8寸以下多種wafer尺寸全自動勻膠/顯影,烘烤工藝處理整機性價比高,適合產能要求適中的批量產線根據客戶工藝需求可加裝等離子風棒等模塊可選配MES協議轉換模塊

詳細介紹

顯影機

顯影是指用還原劑把軟片或印版上經過曝光形成的潛影顯現出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現出來的同時，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序將顯影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設備。

產品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝
設備配置:2套勻膠(顯影)單元、4套熱(冷)板單元
可選8寸以下多種wafer尺寸全自動勻膠/顯影,烘烤工藝處理
整機性價比高,適合產能要求適中的批量產線
根據客戶工藝需求可加裝等離子風棒等模塊
可選配MES協議轉換模塊

產品參數

主軸旋轉速度范圍:20-5000rpm
主軸加速度范圍:20-20000rpm/s
主軸轉速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
適用光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺)
光刻膠或顯影液管路:≤3路
設備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)