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上海添時科學儀器有限公司


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1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE

品       牌

廠商性質0

所  在  地

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更新時間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數:233次

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經營模式:

商鋪產品:1313條

所在地區:

聯系人:徐鰲 (經理)

產品簡介

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強雙溫區回轉爐系統。此系統由射頻電源、雙溫區管式爐、4通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵及水冷機組成。此套完整的設備系統特別適合用于無機復合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中(如:粉體摻雜(空穴、間隙原子)、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等)。

詳細介紹

產品特點:

射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

• 4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控;

爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

工作電源:

輸入電壓:AC208-220V50/60Hz

總功率:<4KW

加熱爐參數:

溫度:1100℃<30min);連續工作溫度:1000℃;

兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃;

工作電壓:110V

額定功率:1.5KW

回轉爐旋轉速度:0-5 rpm

射頻電源:

image.png 

真空系統:

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達10-2Torr

供氣系統(可選):

客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240VAC50/60Hz

氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

循環水冷機:

標配KJ-5000循環水冷機,水流速率:16L/min

產品尺寸和重量:

尺寸:1400mmL -600mmW-1240mmH

凈重:90Kg

承諾:

一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件



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