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上海添時科學儀器有限公司


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1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):235次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:1313條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:徐鰲 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機組成。此套完整的設備系統(tǒng)特別適合用于無機復合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中(如:粉體摻雜(空穴、間隙原子)、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等)。

詳細介紹

產(chǎn)品特點:

射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

• 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控;

爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。

工作電源:

輸入電壓:AC208-220V50/60Hz

總功率:<4KW

加熱爐參數(shù):

溫度:1100℃<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

工作電壓:110V

額定功率:1.5KW

回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:0-5 rpm

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達10-2Torr

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240VAC50/60Hz

氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

循環(huán)水冷機:

標配KJ-5000循環(huán)水冷機,水流速率:16L/min

產(chǎn)品尺寸和重量:

尺寸:1400mmL -600mmW-1240mmH

凈重:90Kg

承諾:

一年保質(zhì)期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件



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