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1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE

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更新時間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：235次

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上海添時科學儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機組成。此套完整的設備系統(tǒng)特別適合用于無機復合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中（如：粉體摻雜（空穴、間隙原子）、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。

詳細介紹

產(chǎn)品特點：

•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

•齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

• 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控;

•爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

工作電源：

•輸入電壓：AC208-220V， 50/60Hz

•總功率：<4KW

加熱爐參數(shù)：

•溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃;

•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;