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上海添時科學儀器有限公司
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VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
T I O 2涂布 |
真空旋轉涂布機
| VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。 | ||
主要特點 | •真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 •使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 •根據樣件規格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 •設有12組程序，每組包含6個運行階段。 •電機啟動快速穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 •50W/24V 直流電機 •適于在Ar氣環境中工作（真空泵放置在手套箱外） | |||
基 本 參 數 | •電機功率：50W/24V •速度范圍：500-10000rpm •程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段 •增減速率設置：100rpm/s-2000rpm/s •時間范圍：0-60s •吸盤：Φ19mm、Φ60mm | 進氣口： 上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現在氣氛環境下旋轉涂覆
可選加熱部分： 上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數字溫控器控溫，120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。
產品尺寸：450mm×280mm×340mm；
重量：20kg
可選配件：過濾器（真空泵用）
保修期：一年保修，終身技術支持。 | ||
標準配件： 1 真空吸盤（含O型圈） 2個 2 中心定位器（含4個定位柱） 1個 3 滴膠注射器（20ml） 1個 4 注射器支架 1個 5 AP-1400V無油真空泵 1臺 6 橡膠管（含卡箍） 1根 | ||||
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