上海奕卿過濾科技有限公司
主營產品: 不銹鋼多袋式過濾器,大流量袋式過濾器,多層板框過濾機 |
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廢氣介紹:由于半導體工藝對操作室清潔度要求*,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發為主。這些廢氣主要可以分為四類:酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害:半導體制造工藝中產生的廢氣如果沒有經過很好的處理進行排放,將造成嚴重的問題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環境,造成環境污染的公害事件等,也會成為半導體制造中AMC污染的重要來源。
半導體廢氣處理
處理方法:依據這些廢氣的特性,在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法,針對不同污染物,可采取以下綜合處理方法:1.一般排氣系統 2.酸性、堿性廢氣處理系統 3.有機廢氣處理系統等。半導體廢氣處理設備半導體廢氣處理設備
隨著工業化程度的不斷提高,VOCs的污染有進一步擴大的趨勢。而隨著zui近環保政策的愈加嚴厲,對有機污染廢氣的排放控制就顯得更為重要了。當前,VOCs治理有兩類基本技術,一類是回收技術,治理的基本思路是對排放的VOCs進行吸收、過濾、分離,然后進行提純等處理,再資源化循環利用。另一類是銷毀技術,處理的基本思路是通過燃燒等化學反應,把排放的VOCs分解化合轉化為其他無毒無害的物質。目前,這兩類技術都得到研究和應用。