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上海奕卿過濾科技有限公司
主營產品： 不銹鋼多袋式過濾器,大流量袋式過濾器,多層板框過濾機 |
公司信息
半導體制造廢水過濾應用
2017-9-4 閱讀(1599)
過程簡述
半導體集成電路是指在半導體基板上，利用氧化、蝕刻、擴散等方法，將眾多電子電路組成各式二極管、晶體管等電子組件作在一微小面積上，以完成某一特定邏輯功能（例如：AND、OR、NAND等）， 進而達成預先設定好的電路功能。半導體的生產工藝要求高，涵蓋光刻、精密切割和研磨等各種復雜工藝，生產半導體的過程會產生大量的廢水， 半導體廢水污染物種類多，成分復雜，通常包括多種重金屬廢水，有機廢水以及硅和氟廢水；同時半導體PCW系統的制程冷卻水須過濾處理以回用（見水處理應用）。
清洗工藝及廢水來源
工藝 | 清潔源 | 容器 | 清潔效果 |
剝離光刻膠 | 氧等離子體 | 平板反應器 | 刻蝕膠 |
去聚合物 | 硫酸:水=6:1 | 溶液槽 | 除去有機物 |
去自然氧化層 | 氟化氫:水<1:50 | 溶液槽 | 產生無氧表面 |
旋轉甩干 | 氮氣 | 甩干機 | 無任殘留物 |
RCA1#(堿性) | 氫氧化銨:過氧化氫:水=1:1:1.5 | 溶液槽 | 除去表面顆粒 |
RCA2#(堿性) | 氯化氫:過氧化氫:水=1：1：5 | 溶液槽 | 除去重金屬粒子 |
DI清洗 | 去離子水 | 溶液槽 | 除去清洗溶劑 |
問題描述
1.分產生廢水量大；
2.廢水成復雜，含有各種過渡性質的金屬如硅、鍺等，同時含有較高含量的氟；
3.廢水中含有難以處理的較高濃度的 COD。
產品應用
1.陶瓷膜過濾系統；
2.占地面積小，集中管理，智能控制；
3.產水質量高，同時去除廢水中的磷酸鹽和COD；
4.耐化學酸堿性佳，壽命長，維護簡便；
5.簡化傳統工藝，無需添加藥劑。
奕卿科技產品：
折疊濾芯過濾器、精密過濾器、袋式過濾器等
