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上海懿宏科學儀器有限公司


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Janis探針臺概述

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:黃小姐查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-10-13 13:56:12瀏覽次數(shù):129次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:197條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:黃小姐 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

微操作低溫和真空探針臺系統(tǒng),用于從3.5K到675 K溫度范圍的芯片、晶圓和器件測試。Janis微操縱探針臺用于DC,RF和光纖探針的無損電氣測試。它們在半導體、MEMS、超導、電子、鐵電、材料科學、物理學和光學等各個領(lǐng)域都非常有用。 LHe / LN2或機械閉循環(huán)制冷機均可制冷。不同的模型將樣品放置在超高真空(UHV),超高溫(至675 K)和磁場中。

詳細介紹

微操作低溫和真空探針臺系統(tǒng),用于從3.5K到675 K溫度范圍的芯片、晶圓和器件測試。

Janis微操作探針臺用于DC,RF和光纖探針的無損電氣測試。它們在半導體、MEMS、超導、電子、鐵電、材料科學、物理學和光學等各個領(lǐng)域都非常有用。 LHe / LN2或機械閉循環(huán)制冷機均可制冷。不同的模型將樣品放置在超高真空(UHV),超高溫(至675 K)和磁場中。


柔性探針針尖

Janis Research的低溫探針臺新技術(shù)具有特殊的柔性探針針尖,能夠在變溫測量過程中吸收探針臂的熱漂移運動。


微型、可移動的樣品真空腔

Janis還提供了一個微型、可移動的樣品真空腔,能夠需要在空氣中移動的過程中將樣品保持在真空狀態(tài)。 真空腔可用于在真空下將晶片/基底從具有特殊環(huán)境的手套箱中轉(zhuǎn)移到真空或低溫微操作探針臺(或真空腔)中,然后在進行準備完成或者測試后轉(zhuǎn)移回手套箱中。可移動真空腔在裝載和卸載時都能保護晶片/基底免受大氣污染。


與普通的真空加載鎖不同,真空腔具有以下功能和優(yōu)點:

● 直徑為50毫米,厚度為25毫米的標準尺寸

● 無需閥門

● 操作簡單、方便

● 低成本

● 安裝可移動的樣品座時,無需提高低溫探針臺溫度


CCR閉循環(huán)系列探針臺

振動小于1 µm

溫度范圍(安裝了4個探頭臂)從4.5 K到350 K(可選:6.5 K到475 K或6.5 K到675 K)

最多可容納2英寸(51毫米)直徑的晶圓(可選:8英寸[200毫米])(有關(guān)更多詳細信息,請參見規(guī)格表)

多達八個冷卻,易于互換的微操作探針臂

直流至67 GHz的電學測量

性價比高的LF探針,易于更換

三軸探頭臂的泄漏電流非常低(在1 V時通常為1至2 fA)

非接觸式,非破壞性的Kelvin探針

多頭探針

帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂

帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區(qū)域

可選的特殊微型真空腔,可將真空狀態(tài)下的樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺

適用于所有單筒望遠鏡系統(tǒng)組件的精確平移xyz行程平臺

可選的可移動樣品座

客戶定制選件


ST-500系列探針臺

低振動和低位置漂移

溫度范圍為約3.5 K至475 K(可選:8 K至650 K)(取決于探頭)

適用于液氮或液氦

氦氣消耗量小于1 L / h

最多可容納2英寸(51毫米)直徑的晶圓(可選:8英寸[203毫米])

多達七個冷卻的、易于替換的微操作探針臂

直流至67 GHz的電學測量

多種性價比高的LF探針,易于更換

極低的三同軸探針臂漏電電流,僅為幾fA

非接觸式、非破壞性的Kelvin探針

多頭探針

帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂

通過樣品架的可選光學通道,用于透射測量

到樣品區(qū)域的帶有電纜的附加電氣饋通

可選的特殊微型真空室,可將真空下的樣品從存儲箱安裝到探針臺

適用于所有單筒顯微鏡系統(tǒng)組件的非常平穩(wěn)的x-y-z行程平臺

可選的可移動樣品座

客戶定制選件

在為現(xiàn)有的“濕式"探針臺尋找無制冷劑的選擇嗎?可選的循環(huán)氣體制冷機消除了在“濕式"系統(tǒng)中使用液氦的麻煩。


關(guān)鍵詞:芯片 制冷機 手套箱 顯微鏡

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