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( 1） 廢氣流量-( 2 ） 污染物濃度-( 3 ） 廢氣溫度 、濕度，揮發性有機廢氣：VOCso．一、有機廢氣的特點·大多數有機污染物是對人體健康有害·中毒的大多癥狀表現為 ：呼吸道疾病多為積票性·若有機污染物的濃度過高可能會造成急性中毒甚至死亡·有些有機物會引起皮膚病·有些具有致癌性·惡臭類物質影響呼眼系統、循環系統、消化系統和生殖系統1.較高濃度 ，成分單一或類似回收能產 生經濟效益。
    2. 成分復雜無 回收價值。
    來表示該值，則大約為 0.4 % 。即，上述結果表示 ，裝置的設置面積增加 很多。
    （產業上的可利用性）本設備 的處理劑 ，并不限定于由半導體制造裝置排出 的廢氣，也使用5于含有同樣的有害氣體成分  的廢氣的凈化。
    廢氣處理劑、廢氣處理方法以及廢氣處理裝置5技術領域本設備涉及用于除去由半導體制造裝置等排出的廢氣中含有的氧化 物為固體的氫化物、氟化物、氯化物等鹵化物 （ 以下，將這些統稱為有害 氣體成分>  的廢氣處理劑以及使用該廢氣處理劑的處理方法及處理裝置 。
    10本申請，對于2004  年 1 月 29日申請的特愿 2004 一020976 號主張優先權，在此引用其內容。
    背景技術在由半導體制造裝置排出的廢氣中，含有 CF4、C2F6、SiF4、SF6 等氟15化物氣體或者 BC13, AsCls 等氯化物等 鹵化物氣體或者 PH3 、Si、GeH4、 As町等金屬氫化物氣體 。
    由于這些的氟化物、氯化物等鹵化物以及金屬氫化物氣體是有害的，從而將廢氣向外部排出時，需要將這些有害氣體成分除去。因此，以往提 出了利用各種吸附劑，除去這樣的有害氣體成分的方法。
    20然而，在利用吸附劑的除去中，由于以吸附劑的表面部上的物理  、化 學吸附反應為主 ，因此吸附劑單位量對應的處理量少，需要大量的吸附劑。 此外，對處理后的吸附劑進行廢棄處理的情況下，也存在必須實施特別的 廢棄處理 ，以防止吸附的有害氣體成分脫離而發生再污染等不妥善情況 。 另一方面，也提出了利用反應劑的除去的技術，但在反應除去中，由于以25表面多原子層上 的反應為主，因此反應劑單位 量對應的處理量少，需要大 量的反應劑。
    為 了解決該 問題，在特開平 10-15349 號公報中，公開了 由煤、活性炭 等碳質固體材料與鈣、銀等堿土族金屬化合物構成的反應劑。
    然而，在該反應劑中，由于碳質固體材料與堿土族金屬以大致相等量30來混合，因此，例如，即使堿土族金屬的反應效率成為 90 % 左右，但反應劑整體上的反應效率不足 50 % ，其結果 ，存在所謂 的反應劑的更換頻率增 加的問題。
    文獻：特開平 10一 15349 號公報5設備內容本設備鑒于此 ，其 目的在于提供一種作為除去 由半導體制造裝置等排 出的廢氣中含有的有害氣體成分的廢氣處理劑，處理劑單位量對應的處理 量多，能夠以少量的處理劑進行大量的廢氣處理 ，并且在對處理后的處理 劑進行廢棄處理時，也不需要實施特別的廢棄處理  的廢氣處理劑。
    10為 了達到相關目 的，本設備 的*方式是一種廢氣處理劑，呈粒狀， 且具備多孔質結構，該廢氣處理劑的特征在于，包括 ：占據其表面的至少 一部分的氫氧化鈣 、以及 占據剩余部分的氧化鈣。
    在上述廢氣處理劑中，作為優選，上述氫氧化鈣 占據上述廢氣處理劑 的 2070 重量% 。
    15上述廢氣處理劑，優選具有 lm2/g以上的比表面積。
    上述廢氣處理劑，優選具有 1050 體積% 的空隙率。 上述廢氣處理劑，也可以將粒狀的碳酸鈣燒成而得到 。 上述廢氣處理劑，也可以將成型為粒狀的氫氧化鈣而得到 。 上述廢氣處理劑，也可以將氧化鈣通過水合反應  ，轉換成氫氧化鈣之20后，對該氫氧化鈣進行燒成而得到 。
    本設備的第二方式是 ，一種廢氣處理方法 ，其特征在于 ，使廢氣以氣 態與上述*方式的廢氣處理劑接觸 ，上述廢氣含有屬于元素 周期表的 Illb  族、IVb族 、或者 Vb 族的元素的氫化物及／或鹵化物。
    本設備的第三方式是一種廢氣處理裝置 ，其特征在于，具備填充有上25述*方式的廢氣處理劑而成的反應除去部 。
    優選在上述廢氣處理裝置中 ，以 30 70 體積%的空隙率填充有所述 廢氣處理劑。

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