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光電產品制造

5.4.1 產污環節與現狀

在光電產品制造行業中，產生廢氣污染的主要有五類產品的生產過程：半導體集成電路、

TFT-LCD 、 LED 、印制電路板（    PCB）、電子終端產品。

（ 1）半導體集成電路

半導體制造工藝中    VOCs 主要來源于光刻、顯影工序，在這些工序中要用有機溶液（如異丙

醇）對晶片表面進行清洗，其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，在光刻過程中使用

的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發的有機溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過程中產生的有機廢

氣也要揮發到大氣中，是    VOCs 產生的又一來源。

（ 2） TFT-LCD

包括檢查和測試在內，    TFT-LCD    的制造生產工藝可達到    100 多道工序，生產過程中使用多

種化學有機溶劑和特殊氣體，產生的    VOCs 量大，組分復雜。    TFT 液晶面板生產排放    VOCs 污染

物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻（涂膠、曝光和顯影）    ，

以及彩膜工程中的黑色矩陣    BM  膜制造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍，    RGB）、保護膜生成、

MVA 膜、 PS（PHoto Spacer）膜生成是產生 VOCs 的主要工藝。同時，在成盒工程中清洗工序使用的有機溶劑揮發也會產生少量的 VOCs 。TFT-LCD 的制造過程中產生的 VOCs 主要是以異丙醇

為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部    VOCs

量的 90%以上。

（ 4）印制電路板（  PCB）            
在單面、雙面和多面印制電路板制作工藝中，產生的    VOCs 工藝環節相對較集中，主要來源
于貼膜、烘干、沉銅、印刷等工序，    VOCs 排放種類主要有甲醛、醇類（乙醇、異丙醇、丁醇、
丙醇）、酮類（丁酮） 、酯類（乙酸乙酯、乙酸丁酯）    、甲苯、二甲苯等。同時，在有機溶劑的貯
存過程中也會有部分    VOCs 產生和排放。        
（5）電子終端產品            
在電子終端產品制造中，   VOCs 的主要來源包括電路板清洗劑有機廢氣（使用有機溶劑型清
洗劑）、電路板三防噴漆廢氣、機殼（機箱）噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上
的局部排風系統，特點是排風量大、濃度低。        
電子終端產品制造業可能產生的污染源、產生污染物的工序和主要污染物
5.4.2 末端治理技術

（ 1）半導體集成電路、    TFT-LCD  和 LED 廢氣治理技術

半導體集成電路、    TFT-LCD  和 LED 三類產品的生產中所產生的廢氣的情況大致相同，除了

VOCs  以外，還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有體，風量大、濃度低。一般采用水吸收    +

沸石轉輪吸附濃縮    -高溫焚燒的組合技術進行治理。

*步通過水吸收（吸收塔）可以去除廢氣中的酸性氣體、堿性氣體和有體。在有些情

況下，酸性氣體、堿性氣體和集中單獨排放，不含有機物或有機物的濃度很低，只通過

水吸收工藝即可，無需加裝吸附設備。如    TFT-LCD  的刻蝕工藝廢氣治理。

第二步沸石轉輪（轉筒）吸附濃縮    +高溫焚燒，對去除了酸性氣體、堿性氣體

低濃度有機廢氣通過沸石轉輪（轉筒）吸附濃縮后進行高溫焚燒凈化。該技術目前在國外已經被

普遍采用，特別是在中國臺灣地區大量的液晶顯示器（    TFT-LCD ）的生產企業中均采用的是該技術。

該技術凈化效率高（可達    95%以上）、運行穩定、安全性好，目前在電子生產行業廢氣治理中尚

無更好的技術能夠取代。