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深圳市華科智源科技有限公司
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掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內部的分層、空洞、裂縫等缺陷。
超聲波掃描顯微鏡是一種實用性的無損檢測工具。該產品主要利用高頻的超聲波，對各類半導體器件、材料進行檢測，能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能。因此，被廣泛應用于半導體器件及封裝檢測、材料檢測、IGBT功率模組產品檢測等場合。
應用領域：
■ 半導體器件及封裝檢測：
分立器件（IGBT/SiC）、陶瓷基板、塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊等。
■ 材料檢測：
陶瓷、玻璃、金屬、塑料、焊接件、水冷散熱器等。
■ IGBT功率模組產品檢測：
實現 IGBT 模塊內部界面和結構缺陷的無損檢測，在進行功率循環后，通過SAM測試，準確找到 IGBT 模塊材料、焊料層，打線等工藝中出現的問題，篩選不合格產品，并促進 IGBT 模塊的封裝質量提升。
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