微波化學(xué)污水處理工藝不同于傳統(tǒng)的污水處理工藝，其優(yōu)點是工藝流程大大簡化，且減少大量的管線工程，對進水的pH，濃度、溫度等無特殊要求。
微波污水處理技術(shù)工藝流程共分為五部分，包括污水預(yù)處理部分、加藥部分、微波設(shè)備反應(yīng)部分、沉降過濾部分和污泥處理系統(tǒng)。
1)污水預(yù)處理部分：包括格柵和集水池。格柵：(對水中有較大顆粒物的水質(zhì)，如城市生活污水)，清除砂石、木塊、塑料等大塊雜物，根據(jù)進水水質(zhì)不同可設(shè)置粗格柵、細格柵以及兩種格柵同時應(yīng)用；集水池用來調(diào)節(jié)進水水量和水質(zhì)，降低對后續(xù)處理構(gòu)筑物的沖擊負荷；由于系統(tǒng)為連續(xù)處理方式，集水池可以保證、控制機組的污水用量。
2)加藥部分：包括1#藥劑存儲器， 1#加藥泵， 1#混合反應(yīng)罐；2#藥劑存儲器，2#加藥泵， 2#混合反應(yīng)罐。
1#藥劑為敏化劑，呈強堿性，在使用過程中需做防潮處理；1#混合反應(yīng)罐由兩個圓柱形罐體相互扣結(jié)而成，形成攪拌渦流；1#加藥泵一般選擇隔膜式計量泵，根據(jù)藥劑用量不同選擇不同型號。
2#藥劑一般為聚合硫酸鐵、聚硅硫酸鐵、*、三氯化鐵、聚合硫酸鋁、次氯酸鈉等。為保證2#藥劑與污水充分混合，2#藥劑加入到管道混合器之前的管道。
混合器將污水與投加的1#、2#添加劑進行充分混合與振蕩；
3)微波設(shè)備反應(yīng)部分：污染物與添加劑進行物理化學(xué)反應(yīng)以及微波低溫催化的物化反應(yīng)；包括微波源、諧振腔、微波源操作臺。微波設(shè)備反應(yīng)部分為該處理工藝的核心部分。通過微波場對吸波物質(zhì)的選擇性加熱、低溫催化、快速穿透等功能，達到去污的效果。
4)沉降過濾部分：實現(xiàn)固液分離沉降過濾一體機-污水加入敏化劑和2#藥劑，通過微波反應(yīng)器處理后形成大顆粒釩花，在自然狀態(tài)下，3～5秒鐘后迅速沉淀下來。
5)污泥處理系統(tǒng)包括：污泥濃縮池和污泥脫水機。從沉降過濾一體機出來的清水進入清水池或回用，或排放。污泥進入污泥濃縮池，污泥經(jīng)壓縮機形成泥餅，外運。水分則經(jīng)收集管道進入原水循環(huán)處理。
水中污染物是在添加劑與微波的共同作用下，發(fā)生劇烈的催化、物理化學(xué)反應(yīng)，轉(zhuǎn)化成不可溶物質(zhì)或氣體從水中分離，水中的大分子、難降解的有機污染物在微波及添加劑的共同作用下，被分解為小分子，與添加劑結(jié)合生成速沉絮體物去除；金屬離子可直接與添加劑結(jié)合生成速沉絮體物沉淀；氨氮轉(zhuǎn)化為氨氣逸出；水中磷轉(zhuǎn)化為不可溶解磷酸鹽沉淀去除。
