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深圳市中圖儀器股份有限公司
高精度、高穩定性、操控靈活
型號 | SJ5718-R | ||
粗糙度參數 | 測量 范圍 | X軸 | 0~100mm |
Z軸 | 0~300mm | ||
移動速度 | X軸 | 0~20mm/s | |
Z軸 | 0~20mm/s | ||
直線度(X掃描軸) | ≤0.3μm/50mm,≤0.5μm/100mm | ||
測力 | 約1~2mN | ||
測量范圍 | Z0軸 | ±20µm~±400µm | |
傳感器類型 | 無軌式 | ||
適用測量范圍 | Ra0.1μm~Ra64μm | ||
分辨率 | X軸/ Z0軸 | 分辨率0.001μm | |
測量精度 | 示值誤差 | ≤±(5nm+2.5%A)μm | |
重復性 | ≤1nm(0.1-0.2μm方波粗糙度樣塊、標準臺階塊) | ||
掃描速度 | 0.05~0.5mm/s | ||
殘值噪聲/殘余輪廓 | ≤0.005μm | ||
測量參數 | R粗糙度: Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr, 核心粗糙度: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P輪廓參數:Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq, Pdc, PPc,Pmr, W波度輪廓參數:Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr Motif參數:R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL | ||
濾波器 | 高斯濾波器、2RC濾波器,相位修正濾波器 | ||
濾波長度 | 0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可選 | ||
評定長度 | λc×3、4、5、6、7、8可選 | ||
儀器尺寸(長×寬×高) | 600×350×850(mm) | ||
儀器重量 | 約95Kg |
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