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　　廢氣是指不利用的氣體或沒有利用價值的多余氣體。人體呼吸產生廢氣、工農業生產產生廢氣、動植物也會產生廢氣、微生物生化過程也會產生廢氣。廢氣的成分非常復雜，有些是危害人們身體健康的有毒有害氣體，必須進行處理，達到國家排放標準后才能排放。如氨氣、硫化氫、三甲胺、苯乙烯等等。還有有機溶劑、影響大氣，形成酸雨的二氧化硫、一氧化氮 等等。針對上述廢氣，國內外發明了很多方法治理廢氣。本文主要講解低溫等離子廢氣處理技術。
 

　　低濃度有害氣態污染物(如二氧化硫、氮氧化物、揮發性有機化合物、硫化氫等)廣泛地產生于能源轉化、交通運輸、工業生產等過程中，國際條例加強了對這些有害 廢氣的限制。傳統的廢氣處理方 法如液體吸收法、活性炭吸附法、焚燒和催化氧化等已很難達到國際排放標準。 低溫等離子體催化技術在治理氣態污染物方面,已顯示出了很高的社會效益和經濟效益。 低溫等離子體場產生高能量活性粒子,促進催化反應,減少能耗；催化主導反應方向，讓反應具有選擇性，并能大大減少反應副產物,該技術被認為在處理 VOCs、氮氧化物、機動車尾氣等方面都有著廣闊的發展前景, 同時低溫等離子體催化技術也存在一定的缺陷，需要在研究過程中進行不斷的完善。
 

　　那么什么叫等離子呢，就是在溫度不為零的任何氣體中， 總有少量的原子被電離，即氣體中除中性粒子外，還存在帶電粒子—電子和離子等。這些少量的帶電粒子相互間的作用很弱，它們在氣體中仍可自由運動。但是，當帶電粒子建立的空間電荷場達到限制自身運動時，帶電粒子相互間的作用對氣體的性質產生影響。顯然，隨著帶電粒子濃度的增大，其影響越來越大。當濃度足夠大 時，正負帶電粒子之間的相互作用，使得在與氣體體積線度可相比擬的體積內始終維持宏觀上的電中性，即空間凈電荷為零。若有偶然因素，使電中性破壞，這就造 成了正負電荷的分離，引起強電場的出現，正負電荷在此電場作用下的運動，又很快恢復了電中性。這種狀態下的電離氣體稱為等離子體。
 

　　一般來說，等離子體中基本的粒子類型有6 種，即：光子、電子、基態原子(或分子)、激發態原子(或分子)以及正離子和負離子。低溫等離子體中這些粒子的共同存在，使其具有高能量、高活性等性質。 使很多需要很高活化能的化學反應能夠發生，常規方法難以去除的污染物得以轉化或分解，進行廢氣處理。
 

　　但無論哪一種低溫等離子體，包括介質阻擋放電、直流電暈放電、脈沖電暈放電、射頻放電、輝光放電，都是高壓放電，存在打火爆炸等安全隱患。需要注意。