EDI超純水反滲透設備是將電去離子(EDI)系統在直流電場的作用下，通過隔板的水中電介質離子發生定向移動，利用交換膜對離子的選擇透過作用來對水質進行提純的一種科學的水處理技術。

目前制備電子工業超純水反滲透設備的工藝基本上是三種：

*種：采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

第二種：采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

第三種：采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

EDI超純水反滲透設備采用全自動控制方式，實現全自動的操作，減少人為誤操作對設備帶的影響，預處理系統中采用還原系統的設計解決余氯過高對反滲透膜產生的不可挽回的影響。

EDI超純水反滲透設備的操作控制方式：有手動與自動兩種控制，可達到下述要求：

1.自來水箱的自動補水：自來水箱的液位到達低位時，進行自動補水。補水到高位時停止補水。

2.自來水箱水位到達液位時，系統開始工作，當純水箱滿水時系統停止。

3.自來水箱處于低水位時，啟動缺水保護，系統停止，手動與自動操作均不能進行。

4.反滲透系統每次開機時進行開機清洗，開機清洗的時間控制在30秒左右（時間是可調節的），當反滲透運行一段時間后進行定時清洗（時間是可調節的）。