反滲透純水設備將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI組件中將少量的EDI單元間用網狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰、陽離子分別穿過陰、陽離子交換膜進入到濃水室而在淡水室中除去。而通過濃水室的水將離子帶出系統，成為濃水。

反滲透純水設備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以達18MΩ.cm(25℃)，但是根據去離子水用途和系統配置設置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。

反滲透純水設備可以應用到電子行業、醫療行業和應用到超純水的行業。在電子清洗行業中應用較多。

在反滲透純水設備的使用中要經常對其進行保養，才能確認反滲透設備的產水水質以及壽命。以下是反滲透純水設備日常運行的十點要素。

1.當反滲透裝置入口和出口的壓差超過標準時，說明膜面已受污染或者是給水流量在設計值以上。如經流量調整尚不能解決壓差問題，則應對膜面進行清洗。

2.過量的給水流量將使膜組件提前劣化，因此給水流量不能超過設計標準值。此外濃水的流量應盡量減少小于設計標準值，在濃水流量過小的條件下運轉，會使反滲透裝置的壓力容器內發生不均勻的流動及由于過分濃縮而在膜組件上析出污垢。

3.反滲透裝置的高壓泵即使有短的時間中斷運轉都可能使裝置發生故障。

4.纖維素膜的水解易造成反滲透裝置的性能惡化，為此要嚴格控制水的PH值，給水的PH值必要持在5-6，而復合膜可以在給水PH3-PH11范圍下運行。

5.反滲透裝置停止時應用低壓給水置換反滲透裝置內的水。這是為了減少停運時二氧化硅的析出（在冬季時水溫下降之故）。