關(guān)鍵詞：直壓法 差壓法 氫氣檢漏儀 氮?dú)錂z漏儀
一、泄漏測(cè)試的各種技術(shù)比較
二、目前比較常見的泄漏測(cè)試方法
通常泄漏測(cè)試方法有：直壓法，差壓法，流量傳感器流量法，背壓流量檢測(cè)法，壓力/真空腔測(cè)量檢測(cè)，氦氣泄漏檢測(cè)等方法
以下分別描述各種方法的原理和特點(diǎn)：
1.直壓法-檢測(cè)操作過程是這樣的：對(duì)工件的被測(cè)容腔在一定壓力條件下(具體壓力參數(shù)由生產(chǎn)線檢測(cè)工藝規(guī)程決定)進(jìn)行充氣、保持一定時(shí)間后，切斷被測(cè)工件和氣源氣路INNOMATEC壓力傳感器記錄下此時(shí)的壓力示值，經(jīng)過一定時(shí)間(數(shù)秒或數(shù)十秒)后，再次讀取壓力示值并和前次記錄的壓力示值進(jìn)行比較。若被測(cè)容腔有泄漏，則兩次壓力示值有一個(gè)差值。此差值大小反映工件在檢測(cè)時(shí)間周期內(nèi)的泄漏狀態(tài)，差值越大表示工件泄漏越嚴(yán)重。只要此差值在允許范圍內(nèi)，即可認(rèn)為被測(cè)工件合格。反之，為不合格。
2.壓差法- 差壓型氣密儀的檢測(cè)操作過程和直壓型的差別主要是利用“標(biāo)準(zhǔn)品”作為參照物在相同的過程和狀態(tài)條件下， 比較被測(cè)工件與“ 標(biāo)準(zhǔn)品” 的差異來判斷被測(cè)工件是否合格。其檢測(cè)過程如下： 首先在氣密儀標(biāo)示的標(biāo)準(zhǔn)品端接上標(biāo)準(zhǔn)品(標(biāo)準(zhǔn)品可以是一個(gè)被用多種方法檢測(cè)合格并被確認(rèn)為可以作為衡量其他與之相同的被測(cè)工件標(biāo)準(zhǔn)的工件或特定制品)，然后同時(shí)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)品與被測(cè)工件容腔充氣(充氣壓力、時(shí)間等參數(shù)由工藝程確定)，經(jīng)過一段數(shù)秒或數(shù)十秒的平衡時(shí)間后，將標(biāo)準(zhǔn)品與工件被測(cè)容腔隔斷進(jìn)行數(shù)秒或數(shù)十秒的壓力監(jiān)視后比較二者的壓力示值差，這個(gè)壓力差就是工件被測(cè)容腔的壓力泄漏值，若其值在允許范圍內(nèi)則認(rèn)為被測(cè)品合格，否則判為不合格。
3.大流量傳感器流量檢測(cè)法-流量式檢漏儀工作原理是向被檢工件內(nèi)不間歇充入一定壓力氣體，以質(zhì)量流量計(jì)或體積流量計(jì)感測(cè)充入工件氣體流量的變化，以此來判定工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內(nèi)。流量法的特點(diǎn)是測(cè)量信號(hào)與被測(cè)容積的大小無關(guān)，測(cè)量信號(hào)直接反映氣體泄漏量。若感測(cè)元件是差壓流量計(jì)則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質(zhì)量流量計(jì)則為質(zhì)量流量法，其檢漏儀為質(zhì)量流量檢漏儀。通常采用質(zhì)量流量法。對(duì)于泄漏速率小于8.3立方厘米/秒的零件，一般不采用這種檢測(cè)方法。
4.背壓流量檢測(cè)法-這種流量檢測(cè)法是使用壓力傳感器測(cè)量由于被測(cè)零件對(duì)氣體的約束所造成的背壓。傳感器連接在通往被測(cè)零件的氣路上。有時(shí)使用變量限流閥，通過限制調(diào)節(jié)器的流量增加檢測(cè)儀的分辨率。
5.壓力/真空腔測(cè)量檢測(cè)-這種檢測(cè)方法需要使用氣密性空腔，在檢測(cè)過程中將被測(cè)零件封在其中。安裝壓力傳感器，測(cè)量腔內(nèi)的壓力。然后對(duì)零件或空腔充壓。系統(tǒng)測(cè)量腔內(nèi)壓力是否變化。檢測(cè)用的氣源始終是已知的固定量氣體。這項(xiàng)技術(shù)特別適用于密封的、無法直接沖壓或排氣的零件。
6.氦氣泄漏檢測(cè)-在其他對(duì)泄漏檢測(cè)精度要求低于0.001 立方厘米/秒的行業(yè)中，氦氣質(zhì)量光譜分析檢測(cè)方法被廣泛應(yīng)用。在大多數(shù)的設(shè)備的樣機(jī)應(yīng)用中，精度的要求是不必要的，它們更關(guān)注于檢測(cè)時(shí)間與成本。在氦氣質(zhì)量檢測(cè)方法中，被檢測(cè)設(shè)備用氦氣加壓，質(zhì)量流量由檢測(cè)室的質(zhì)量光譜采樣分析儀檢測(cè)出來。這種方法的設(shè)備成本、維護(hù)與氦氣成本，相對(duì)于沒必要對(duì)低于103 SCCS 的泄漏速度進(jìn)行監(jiān)測(cè)的應(yīng)用更加昂貴，因此，該方法僅僅被典型地應(yīng)用在要求的設(shè)備的泄漏檢測(cè)中。
三、超鉅氫氣檢漏法
與上述6種檢漏方法相比較，超鉅氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮?dú)獾幕旌蠚怏w是不可燃的(ISO10156國際標(biāo)準(zhǔn))，無毒性和腐蝕性，也不會(huì)對(duì)設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多無二的優(yōu)點(diǎn)。
無論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測(cè)試應(yīng)用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢(shì)。其價(jià)格非常低廉，很容易在各個(gè)氣體供應(yīng)商處購得。我們的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當(dāng)于0.1g/y。其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時(shí)氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備，如氦氣回收系統(tǒng)等
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