等離子光解廢氣除臭凈化器，綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術相結合，對廢氣和臭氣進行協同凈化處理：有機廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能率地照射，瞬間產生光解反應；經過等離子體電場時，在納秒級時間范圍內，產生裂變分解反應；如此協同地產生一系列光解和分解反應，經過多級凈化后從而達到排放。

等離子分解區：

  等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，采用脈沖高頻高壓等離子體電源，利用雙介質齒板放電裝置，以放電形式產生等離子體，在毫秒級的時間內，把空氣和廢氣擊穿，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、電子、離子、臭氧、原子氧、生態氧等，在納秒級的時間內，瞬間對廢氣和臭氣分子進行氧化還原反應；活性自由基可以有效在破壞各種病毒、細菌中核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能迅速將有機廢氣分子異味氣體分解或還原為低分子無害物；另外，借助等離子中的離子與物體的聚合吸附作用，可以對小至微米級的細微有機廢氣顆粒物進行有效的吸附沉降處理。

  放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短時間內發生分解，并發生后續和各種反應以達到降解污染物的目的。