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北京羲和陽光科技發展有限公司
XH-MP150A設備是增強型手動分析探針臺,用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺,可吸附多種規格的圓片及芯片,并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。設備可代替美國CASCADE公司的EPS150系列的手動探針臺。
項 目 | 性能指標 | ||
可測圓片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | ||
工作臺 | 行程 | 160mm×160mm | |
結構 | 精密高剛性直線導軌,滾珠絲杠 | ||
分辨率 | 0.001mm-0.01mm(根據需求絲桿導程可選) | ||
操作方式 | 手輪 | ||
承片臺Z向 | 接觸/分離 | 行程0.5mm | |
承片臺θ向 | 微調范圍 | ±15 º | |
針座平臺 (可選) | 升、降行程 | 25mm | |
接觸/分離 | 0.66mm | ||
吸片盤 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
分檔 | (2″、3″)、4″、6″單獨真空吸附,三檔可選 | ||
上、下片方式(可選) | 快速抽屜式上、下片 | ||
顯微鏡及配件 | 立柱式支架 | 前、后,上、下、旋轉,仰角四維可調 | |
微調支架 (可選) | X方向120mm,Y方向60mm,手輪調節 | ||
顯微鏡 | 雙目體視顯微鏡45X | ||
照明燈 | LED環形燈 | ||
相關配件 | 打點器 | 可調三維座,驅動DC24V | |
測試探針 | 高彈性鎢針 | ||
三維針座 | 磁性吸附式,可調范圍:x: ±6.5mm, y: ±6.5mm, z: ±6.5mm | ||
外形尺寸 | 610mm×560mm×500mm(長×寬×高) | ||
設備重量 | 約30 KG | ||
使用環境 | 電源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
功率 | 0.05kW | ||
真空 | -80 KPa | ||
環境溫度 | 15ºC-30ºC | ||
相對濕度 | <60% |
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