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北京羲和陽(yáng)光科技發(fā)展有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
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更新時(shí)間:2017-11-23 12:25:40瀏覽次數(shù):476次
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商鋪產(chǎn)品:40條
所在地區(qū):北京北京市
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母合金
半導(dǎo)體拉晶的重要摻雜元素
母合金
半導(dǎo)體拉晶的重要摻雜元素
產(chǎn)品特點(diǎn)
進(jìn)口12N電子極原生多晶硅,配摻高純度硼粉(7N)級(jí)。目前廣泛應(yīng)用在拉單晶上的為硅硼負(fù)三合金。
母合金摻雜計(jì)算方法
電阻率P的單晶,它的頭部對(duì)應(yīng)的的雜質(zhì)濃度為C頭,多晶硅原料的重量為W,的雜質(zhì)濃度為C母,應(yīng)摻重量為M
應(yīng)摻重量為M =W*C頭/(K*C母—C頭),其中K為摻雜劑原素在硅中的平衡分凝系數(shù)。
參數(shù)
■ 硅單晶P型10的-3次方
■ 電阻率:0.007-0.009Ω/cm2
■ 雜質(zhì)含量指標(biāo)
硼含量(atom/cm3) 碳含量(atom/cm3) 氧含量(atom/cm3)
1.13*10-E19 <5*10-E16 <1.0*10-E18
■ 硅單晶P型10的-3次方
■ 電阻率:0.003-0.004Ω/cm2
■ 雜質(zhì)含量指標(biāo)
硼含量(atom/cm3) 碳含量(atom/cm3) 氧含量(atom/cm3)
3.04E+19 <5E+16 <1E+18
■ 硅單晶N型10的-3次方
■ 電阻率:0.002-0.005Ω/cm2
■ 雜質(zhì)含量指標(biāo)
磷含量(atom/cm3) 碳含量(atom/cm3) 氧含量(atom/cm3)
2.24*10-E19 <5*10-E16 <1.0*10-E18
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型號(hào):MW28FD3013A 面議商鋪:http://www.kindlingtouch.com/st54928/
主營(yíng)產(chǎn)品:硅料檢測(cè)分選儀 單晶P/N型測(cè)試儀 碳氧含量測(cè)試儀 硅片紅外探傷儀
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