硅片表面線痕測試儀
產品型號：進口
對硅片表面的線痕進行輕松測量。該設備帶控制器的高精度，高性能，操作簡單，顯示一目了然。
特點
■顯示一目了然，操作簡單： 配備高可見度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色圖標顯示、觸控式面板，顯示更清晰，操作簡單。
■輕松定位： 使用控制器內置的操縱桿，輕松、快速地定位。小孔內側的測量，需要對微小測頭進行微調。利用手動手柄，實現輕松微調。
■輕松設置表測量條件： 利用配備的簡單輸入功能，可按照ISO/JIS 標準的繪圖指令符號進行輸入。以往非常麻煩的測量條件設置如今可輕松輸入，從菜單上直接選取表面線痕的繪圖指令符號即可。
技術參數
技術參數: SJ-500
X 軸 （驅動部）
測量范圍: 50mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 線性編碼器
驅動速度: 0 - 20mm/s
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向后
直線度: 0.2μm / 50mm
定位: ±1.5° （傾角、有DAT 功能） 30mm （向上／向下）
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN （低測力型）
測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR （60o / 2μmR: 低測力型）
導頭曲率半徑: 40mm
檢測方法: 差動電感式
控制器
顯示: 7.5" 帶背光的TFT 彩顯
打印機: 內置熱敏打印機
放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自動 垂直: X0.5 至 X10,000、自動 驅動裝置的控制: 通過操縱桿手動手柄的操作
技術參數: SV-2100
X 軸 （驅動部）
測量范圍: 100mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 線性編碼器
驅動速度: 0 - 40mm/s
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向后
直線度: 0.15μm / 100mm Z2 軸 （ 立柱）
類型: 手動操作或電驅動
垂直移動: 350mm 或 550mm*
分辨率*: 1μm
檢測方法*: 旋轉編碼器
驅動速度*: 0 - 20mm/s * 僅適于電驅動型
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN （低測力型）
測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR （60o / 2μmR: 低測力型）
導頭曲率半徑: 40mm
檢測方法: 差動電感式
控制器
顯示: 7.5" 帶背光的TFT 彩顯
打印機: 內置熱敏打印機
放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自動 垂直: X0.5 至 X10,000、自動
驅動裝置的控制: 通過操縱桿手動手柄的操作
評估能力
評估輪廓
P （主輪廓）, R （表面輪廓）, WC, WCA, WE, WEA, 包絡 殘余線、波形 motif
評估參數
Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, mr（c）, dc, mr,
tp, Htp, Lo, Ir, Ppi, HSC, Da, Dq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2,
A1, A2, Vo, la, lq 線痕motif 參數: R, AR, Rx 波形motif 參數: W, AW, , Wte
分析圖表
ADC, BAC, 功率譜圖
數顯濾波器
2CR-75%, PC-75%、高斯濾波器、魯棒樣條
截止波長
ls: 0.25μm, 0.8μm, 2.5μm, 8μm, 25μm, 250μm、無濾波器
lc*: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
lf: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm、無濾波器采樣長度 （L）*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm, 80mm （僅適于SV-2100）
數據補償功能
拋物線補償、雙曲線補償、橢圓補償、R 平面 （曲面）
補償、錐面補償、傾斜補償
*在 0.02mm 至50mm 的范圍內可任意長度。
相關圖片
