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敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測量的機床和系統典型應用包括: 半導體工業的測量和生產設備PCB電路板組裝機 超精密機床高精度機床
德國HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺#海德漢光柵尺
敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測量的機床和系統
典型應用包括:
半導體工業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超精密機床
高精度機床
測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設備
直接驅動
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傳真:
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德國HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺#海德漢光柵尺
產品系
應用
LIC
LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動的行程達27 m內的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。
LIP
LIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測量基準為DIADUR相位光柵。
LIF
LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點是精度和重復精度高,安裝簡單,有限位開關和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環境中(參見其單獨“產品信息”)。
LIDA
LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運動速度達10 m/s的高速運動應用,支持多種安裝方式,安裝簡單。根據相應應用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關。
PP
PP雙坐標編碼器的測量基準是一個平面 DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測量平面中位置。
機械結構
敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數頭,光柵尺和讀數頭間無機械接觸。 敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安裝面上。 安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。
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