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東莞卓為凈化半導體無塵車間技術

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更新時間：2018-05-15 15:02:56瀏覽次數：134次

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東莞市卓為空調機電設備有限公司

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東莞市卓為空調機電設有限公司一直堅持以打造人與環(huán)境和諧共生，可持續(xù)發(fā)展的優(yōu)良無塵車間工程為目標，從凈化項目的設計到項目施工，都秉持著盡善盡美，精益求精，使項目在符合客戶的要求上，更在降低項目后期使用成本，提高使用效率上追求更加科學化、完善化，以期為客戶帶來大的效益，為我們美麗的自然環(huán)境而降低能耗。

半導體組件空間單位都是以微米計算，因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴重后果。所有半導體制程設備都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中，這就是半導體無塵車間的來由。

以下半導體無塵車間的相關的技術和使用管理辦法：

1.半導體無塵車間內部要確保粉塵只出不進，因此無塵車間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入無塵車間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。

3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在無塵車間內回旋停滯的機會與時間減至較低程度。

4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

5.所有人或事物進出無塵車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導體無塵車間內水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。去離子水是更佳的溶劑與清潔劑，在半導體工業(yè)之使用量極為驚人！

7.半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

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