維修真空設備的要點是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時，應該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，這時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油污染了，氧化了；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，軸封漏油等故障。 

1）   檢測漏率：  
用戶zui頭疼的問題就是檢測漏率。漏——分內漏和外漏，外漏比較好檢測，內漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。  

2）   漏和微漏的查找：  
小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了——也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。是反復幾次，確認漏點。