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賽默飛世爾科技(中國)有限公司集團
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該技術可快速鑒定晶體物相、晶粒尺寸和取向,以及結構轉變。對掃描電子顯微鏡 (SEM) 樣品使用 EBSD 技術可以限度提高通量和分辨率。Thermo Scientific Lumis EBSD 檢測器結合了新的 CMOS 傳感器技術和*的光學元件,并借助 Thermo Scientific Pathfinder 2.0 微量分析軟件進行操控,該軟件融入了包含新索引算法的電子背散射花樣(EBS......
Lumis EBSD 探測器采用了較*的 CMOS 傳感器技術,配有高級光學元件,使用加速索引算法,和低至 10 pA 及更低的束流來分析電子背散射花樣 (EBSP) 。
該探測器采用 > 220 萬像素模式采集,非常適合 HR-EBSD 應變測量和用于相鑒別。
使用光學和傳感器組合,可優化探測器從而以每秒數千幀的速度進行高速 EBSD,以縮短采集時間并提高樣品處理量。高級光學元件和較高的傳感器靈敏度允許在低于 10 pA 的超低束流下采集 EBSP。這對于電子束敏感和劑量受限材料或者在較高的束流可能導致污染或漂移的情況下尤其重要。
一種大規格 CMOS 傳感器和一個反向變焦光學元件,以補充和擴展內置 CMOS 傳感器組合。高效、八邊形閃爍器將背散射電子轉換為光,通過高質量的反向變焦光學元器件聚焦到傳感器的用戶控制區域。這允許連續選擇“合并"EBSP 大小,并為 EBSP 速度、質量和靈敏度提供靈活性。
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