Entegris 是微電子行業空氣分子污染 (AMC) 控制領域的。 我們的 VaporSorb CSP-32 化學空氣過濾器為曝光工具光學元件和光刻膠提供保護。 CSP-32 過濾器包含碳和聚合化學介質的組合，可針對并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物質（如 SO2）、分子堿（如 NH3、NMP 和 胺）和可冷凝有機化合物，定義為沸點大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。專門設計用于 Entegris 的定制過濾器外殼，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 過濾器以串聯方式使用，以提供保護，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶劑和顯影劑化學品泄漏。
不對稱濾波器設計可防止 HDMSO 轉換為 TMS
去除酸、堿和可冷凝的有機物
折疊式過濾器設計采用剛性深框
低壓降使多個保護層的串聯過濾器布局成為可能
堆棧間采樣端口，便于監控
環保在線