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四方光電(武漢)儀器有限公司
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紅外氣體傳感器

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號Gasboard-2061

品       牌四方儀器

廠商性質生產商

所  在  地武漢市

更新時間:2025-02-10 17:23:13瀏覽次數:142次

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產地 國產 檢測原理 NDIR
檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr)
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器


產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。


紅外氣體傳感器產品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm



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