當前位置:四方光電(武漢)儀器有限公司>>氣體分析儀/系統>>半導體行業氣體分析儀>> Gasboard-2061紅外氣體傳感器
產地 | 國產 | 檢測原理 | NDIR |
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檢測氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 | 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
產品名稱:紅外氣體傳感器
產品型號:Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產品概述
紅外氣體傳感器產品特性
(1)使用NDIR技術,多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
(2)響應時間快,高靈敏度
(3)無耗材
(4)模擬/數字通信
(5)模塊化設計,便于集成
紅外氣體傳感器技術參數
檢測原理 | NDIR |
檢測氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重復性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測限 | 1ppm |
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