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北京維意真空技術應用有限責任公司
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| 產地 | 國產 | 磁控靶 | 3個3英寸 |
|---|---|---|---|
| 濺射電源 | 2個直流1個射頻 | 樣品臺 | 溫度800℃，4英寸 |
| 真空獲得 | 8*10-5Pa | 充氣系統 | 2路質量流量計 |
高真空多靶磁控濺射鍍膜機真空鍍膜設備
真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接，前開門結構；
真空系統：機械泵+分子泵（進口和國產可選）；
極限真空：優于5?10-5Pa（經烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺：2～6英寸基片臺，靶基距60～120mm連續在線自動可調，旋轉0～20r/min可調，可加熱至500
高真空多靶磁控濺射鍍膜機真空鍍膜設備
MS-450高真空多靶磁控濺射鍍膜機
真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接，前開門結構；
真空系統：機械泵+分子泵（進口和國產可選）；
極限真空：優于5?10-5Pa（經烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺：2～6英寸基片臺，靶基距60～120mm連續在線自動可調，旋轉0～20r/min可調，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；
磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；
濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選；
質量流量計：2～3路工藝氣體，可根據工藝要求增加；
膜厚監控儀：可選配國產或進口單水冷探頭膜厚儀；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空。
高真空多靶磁控濺射鍍膜機真空鍍膜設備
我們的產品嚴格遵照相關標準，并執行原材料檢驗、加工在線檢測、半成品檢測及成品出廠檢測，對于非標定制的產品與客戶聯合檢測驗收；需要特別指出的是對于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴格的觀察檢驗及氦質譜檢漏儀檢漏測試，并對整個系統進行漏率測試，系統漏率優于 8.0×10-8 Pa.L/S。
維意真空踐行“先服務，后銷售"原則，承諾對本公司銷售的產品提供不少于12個月的質保服務（可根據客戶要求提供延保服務），質保期內設備的維修免費。質保期外，提供終身服務。對于操作故障，本公司在接到故障通知2小時內給予解答；對于設備故障，公司在接到故障通知后，北京地區12小時內派技術人員到達現場處理，外阜地區48小時內到達現場。
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