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北京維意真空技術應用有限責任公司
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1.系統基本概況 系統工作框圖 圖1系統工作框圖 1.2設備圖片 圖2設備外形參考圖 2.分子泵組技術參數 2.1分子泵組系統組成 系統型號：DSC-1600L序號產品名稱型號單位數量1分子泵JTFB-1600臺12機械泵TRP-36臺13復合真空計PDF-5227套14轉接真空室CF250—CF150個15插板閥CF150手動/電動一體臺16防返油閥KF40壓差放氣閥個17
1. 系統基本概況
系統工作框圖
圖1系統工作框圖
1.2設備圖片
圖2 設備外形參考圖
2. 分子泵組技術參數
2.1 分子泵組系統組成
系統型號：DSC-1600L
序號 | 產品名稱 | 型號 | 單位 | 數量 |
1 | 分子泵 | JTFB-1600 | 臺 | 1 |
2 | 機械泵 | TRP-36 | 臺 | 1 |
3 | 復合真空計 | PDF-5227 | 套 | 1 |
4 | 轉接真空室 | CF250—CF150 | 個 | 1 |
5 | 插板閥 | CF150手動/電動一體 | 臺 | 1 |
6 | 防返油閥 | KF40壓差放氣閥 | 個 | 1 |
7 | 放氣閥門 | KF16電磁放氣閥 | 個 | 1 |
8 | 波紋管 | CF150*1500mm | 根 | 1 |
9 | 波紋管 | KF40*500mm | 根 | 1 |
10 | 移動平臺 | / | 套 | 1 |
2.2 分子泵組重要技術參數
序號 | 名稱 | 型號 | 技術指標 |
1 | 分子泵組 | DSC-1600L | 真空獲得為風冷復合分子泵+機械泵，設備真空度在分子泵啟動到400HZ后優于3*10-3Pa，30分鐘以內優于5*10-4Pa，極限真空度3*10-5Pa。 機組為可移動臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣需要。 分子泵：JTFB-1600，抽速1600L/s的國產風冷復合分子泵； 機械泵：TRP-36，抽速9L/s的合資機械泵； 復合真空計：PDF-5227，CF35電離規和KF16電阻規； 轉接真空室：CF250—CF150，高度200mm； 插板閥：CF150手動/電動一體； 防返油閥：KF40壓差隔斷放氣閥，電磁驅動； 放氣閥門：KF16電磁放氣閥； 氣路結構：簡單氣路，無預抽； 波紋管：1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm 移動平臺：帶4面圍板的小車，帶控制系統。 |
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