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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司


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超高真空脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2022-08-25 14:14:27瀏覽次數(shù):593次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:79條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:于磊 (銷售部經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)  系統(tǒng)由真空腔室(外延室、進(jìn)樣室)、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、真空排氣、真空測(cè)量、電器控制、配氣、計(jì)算機(jī)控制等各部分組成。  1、★★外延室:  極限真空優(yōu)于:5.0x10-8Pa  真空漏率小于2.0x10-8Pa.l/S  1.1、★真空室組件:1套  真空室采用球形結(jié)構(gòu),尺寸:Ф450mm;選用0Cr18Ni9Ti不銹鋼材料制  造,氬弧焊接,表面噴玻璃丸

詳細(xì)介紹

  一、 系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)

  系統(tǒng)由真空腔室(外延室、進(jìn)樣室)、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、真空排氣、真空測(cè)量、電器控制、配氣、計(jì)算機(jī)控制等各部分組成。

  1、 ★★外延室:

  極限真空優(yōu)于:5.0x10-8Pa

  真空漏率小于2.0x10-8Pa.l/S

  1.1、 ★真空室組件:1套

  真空室采用球形結(jié)構(gòu),尺寸:Ф450mm;選用0Cr18Ni9Ti不銹鋼材料制

  造,氬弧焊接,表面噴玻璃丸及電化學(xué)拋光處理,全部接口采用金屬墊圈密

  封,腔體上各種法蘭接口如下:

  1.1.1 、CF250接口法蘭1個(gè)(接升華泵);

  1.1.2 、CF200接口法蘭1個(gè)(接靶組件);

  1.1.3 、CF150接口法蘭4個(gè)(接樣品臺(tái)組件、分子泵、離子泵、活開(kāi)門(mén)

  組);

  1.1.4 、CF100接口法蘭7個(gè)(接2個(gè)激光入射窗口、高能電子衍射電子

  槍、熒光屏 口、進(jìn)樣室口、2個(gè)光譜口);

  1.1.5 、CF50接口法蘭5個(gè)(2個(gè)觀察窗口、1個(gè)紅外測(cè)溫窗口、2個(gè)備用);

  1.1.6 、CF35接口法蘭5個(gè)(接規(guī)管、放電電極、2個(gè)備用);

  1.1.7 、CF16接口法蘭6個(gè)(低真空規(guī)管、放電電極、進(jìn)氣管路、充氣閥、 照明、備用;

  1.2 、★旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)組件:1套

  1.2.1、CF200密封法蘭,靶與樣品之間距離可調(diào)30~90mm(腔外調(diào)節(jié));

  1.2.2、靶組件為垂直結(jié)構(gòu),靶材尺寸Φ70mm, 每次可以裝四塊靶材;提供可安裝直徑分別為Φ25mm、Φ30mm、Φ50mm、Φ70mm靶材的靶材架各四套。

  1.2.3、每塊靶材可實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn),磁力耦合傳動(dòng),轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào),電機(jī)驅(qū)動(dòng);

  1.2.4、公轉(zhuǎn)換靶采用波紋管轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng),由電機(jī)控制;

  1.2.5、靶的定位與靶距調(diào)節(jié)均采用光電開(kāi)關(guān)定位,靶組件的中心位置定在前方靶面與基片的距離為60mm的位置,為了保證靶定位精度,采用細(xì)分驅(qū)動(dòng)器控制電機(jī);

  1.3、 ★基片加熱臺(tái)組件:1套

  1.3.1、 基片尺寸:提供安裝1*1cm方形基片的基片架六套;Φ25和Φ51圓形基片的基片架各兩套。

  1.3.2、★★采用抗氧化材料作加熱器;基片加熱溫度 800°C±1°C,由熱電偶閉環(huán)反饋控制;基片溫度誤差小于±1°C;基片溫度從中心到邊沿的偏差小于±1°C。

  1.3.3、 基片臺(tái)可以作前后手動(dòng)移動(dòng),采用波紋管密封結(jié)構(gòu),基片以RHEED的位置為準(zhǔn)可拉出30mm,縮進(jìn)20mm;

  1.3.4、 基片可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分,電機(jī)驅(qū)動(dòng);

  1.3.5 、樣品擋板組件;

  1.4、★窗口及法蘭盲板組件

  1.4.1 、供準(zhǔn)分子激光入射用的石英玻璃窗口(選用JGS1-1型石英玻璃):6個(gè)

  1.4.2 、觀察用玻璃窗CF50:2個(gè)

  1.4.3 、紅外測(cè)溫窗CF50:1個(gè)

  1.4.4 、CF35盲法蘭:1個(gè)

  1.4.5 、CF50盲法蘭:2個(gè)

  1.5、 ★活開(kāi)門(mén)組件:1套

  1.5.1、 上焊接Ф50mm 通導(dǎo)窗口;

  1.5.2、 采用膠圈,金屬兩用密封結(jié)構(gòu);

  1.6、 ★工作氣路組件:3條

  1.6.1、質(zhì)量流量控制器、DG16角閥、管路、接頭等:2路

  質(zhì)量流量計(jì)范圍:1--100SCCM(廠家:北京匯博隆)。

  1.6.2、CF16角閥、管路、接頭 :1路

  1.7、★工作真空獲得:機(jī)械泵+分子泵+離子泵+升華泵

  1.7.1、抽速:8升/秒,2XZ-8直連機(jī)械泵:1臺(tái)

  1.7.2、抽速:620升/秒,分子泵及控制電源:1臺(tái)

  1.7.3、抽速:400升/秒,濺射離子泵及控制電源:1臺(tái)

  1.7.4、鈦鉬絲升華泵及控制電源:1臺(tái)

  1.7.5、CC-150-B閘板閥:2臺(tái)

  分別用于分子泵與外延室隔離,離子泵與真空室隔離。

  1.7.6、CC-100-B閘板閥:1臺(tái)

  進(jìn)樣室與外延室隔離。

  1.7.7、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管:1套

  1.7.8、電磁隔斷放氣閥:DN40:1臺(tái)

  1.8、★★真空測(cè)量

  1.8.1、DL-7型超高真空測(cè)量規(guī)、計(jì):1套

  測(cè)量范圍:1.0x10-2Pa~1.0x10-8Pa;

  1.8.2、ZDF復(fù)合真空計(jì)測(cè)量低真空:1套

  測(cè)量范圍:1.0x105Pa~1.0x10-1Pa;

  2、進(jìn)樣室:

  極限真空優(yōu)于:1.0x10-5Pa;

  真空漏率小于5.0x10-8Pa.l/S;

  2.1、 ★真空室組件:1套

  真空室腔體尺寸Ф150x150mm,上面開(kāi)有連接樣品傳輸桿、真空泵、活開(kāi)

  門(mén)、真空規(guī)、放氣閥等各種規(guī)格的法蘭接口,選用0Cr18Ni9Ti不銹鋼材料制

  造,氬弧焊接,表面噴玻璃丸及電化學(xué)拋光處理。

  2.2、★★真空部件

  2.2.1、 磁力樣品傳送桿,傳送距離700mm:1套

  2.2.1、 壓力表,放在進(jìn)氣閥門(mén)外:1套

  2.2.1、 觀察窗組件:1套

  2.3、★★工作真空獲得:機(jī)械泵+分子泵

  2.3.1、直聯(lián)機(jī)械泵:1臺(tái)(抽速4升/秒);

  2.3.2、復(fù)合分子泵及變頻控制電源:1臺(tái)(抽速600升/秒);

  2.3.3、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管:1套 ;

  2.3.4、CF150-B閘板閥:1臺(tái)(用于分子泵與樣品引進(jìn)室隔離);

  2.3.5、ZDF量程高真空測(cè)量規(guī)、計(jì):1套(用外延室真空計(jì)的另外兩路)

  低真空規(guī):1套(1.0x105Pa~1.0x10-1Pa);

  電離規(guī):1套(1.0x10-1Pa~1.0x10-5Pa);

  2.3.6、高真空角閥CF16、管路、接頭、充氣閥D6等:1路(解除真空充氮?dú)?;

  2.3.7、KF25電磁壓差閥:1臺(tái);

  2.3.8、KF40電磁截止閥:1臺(tái);

  2.4、相關(guān)規(guī)格的金屬密封銅圈,氟橡膠密封圈:全套

  2.5、不銹鋼緊固螺栓、螺母、墊片等: 全套

  3、 ★安裝機(jī)臺(tái)架組件:1套

  安裝臺(tái)架:整個(gè)設(shè)備安放在一個(gè)用型鋼焊接而成的臺(tái)架上,臺(tái)面板由不銹鋼蒙皮裝飾,臺(tái)架及圍板均進(jìn)行噴塑處理。機(jī)臺(tái)有移動(dòng)/固定腳輪兩用。

  4、 ★電源控制系統(tǒng) :1套

  自制電源

  4.1、總控制電源:1套

  4.2、電源控制機(jī)柜:2臺(tái)

  4.3、樣品加熱電源:1臺(tái)

  4.4、鹵鎢燈照明電源 :1臺(tái)

  4.5、步進(jìn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)電源:4套

  4.6、升華泵電源:1套

  4.7、機(jī)械泵啟動(dòng)控制電源:2套

  外配套電源

  4.8、3L-400離子泵電源:1套

  4.9、FB620分子泵電源:2套

  4.10、電離真空計(jì)電源:2套

  4.11、質(zhì)量流量計(jì)電源(2顯):1套

  5、★備品備件:1套

  5.1、無(wú)氧銅密封墊圈(相關(guān)規(guī)格)

  CF16:5個(gè); CF35:5個(gè);

  CF50:5個(gè); CF100:3個(gè); CF150:5個(gè)

  Ф6mm:卡套:4套Ф6mm:不銹鋼管:6米

  5.2、氟橡膠密封圈

  Ф150 3個(gè) Ф100 3個(gè)

  5.3、烘烤帶: 4條

  5.4、點(diǎn)鎢燈: 5個(gè)

  5.5、加熱絲: 3米

  6、★配套儀器及控制系統(tǒng)

  1)、★★差分式高能電子衍射儀(RHEED): 1套

  (1)、高能電源:能量25KV,束流100μA。

  (2)、三極濺射離子泵(抽速:25升/秒)及閥門(mén)、管道:1套

  (3)、熒光屏:1快

  (4)、熒光屏擋板:1套

  (5)、照像用黑筒:1套

  2)、★★RHEED強(qiáng)度振蕩,生長(zhǎng)速率監(jiān)測(cè)系統(tǒng) : 1套

  主要由攝象頭,硬件,計(jì)算機(jī)控制軟件包等組成。

  3)、★★激光束掃描裝置 : 1套

  (1)、二維掃描機(jī)械平臺(tái)。

  (2)、手動(dòng)/自動(dòng),兩套步進(jìn)電機(jī)控制,執(zhí)行兩自由度掃描。

  4)、★★氧等離子體發(fā)生器及電源 : 1套

  5)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng) : 1套

  (1)、由硬件卡,計(jì)算機(jī)控制軟件包,及計(jì)算機(jī)組成。

  (2)、控制的內(nèi)容主要有公轉(zhuǎn)換靶、靶自轉(zhuǎn)、樣品自轉(zhuǎn)、樣品控溫、激光束掃描等。

  6)、★★四極質(zhì)譜儀(質(zhì)量數(shù):1---100): 1套

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