設備簡介：
小型電阻蒸發鍍膜儀，主要特點是設備體積小，結構簡單緊湊易于操作，也可整機放置于手套箱內，對實驗室供電要求低;該系列設備主要部件采用進口或者國內的配置，從而提高設備的穩定性;另外自主開發的智能操作系統在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。
目前該設備配2組無機電阻蒸發源，一臺2000W直流蒸發電源，主要用來開發納米級單層及多層的金屬導電膜、有機薄膜等。
主要技術參數
1、腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接;
2、樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸Ф100mm，旋轉：0-20r/min可調;
3、真空系統：機械泵(TRP-12,3L/s)+分子泵(Hipace80,67L/s)(可選);GDC-25b電磁擋板閥;
4、極限真空：8.0×10-5Pa;
5、真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 40min;
6、真空測量：復合全量程真空計測量范圍：105Pa～10-1Pa;
7、蒸發源：2組電阻蒸發源，2組間可切換，源間有防污板;
8、蒸發電源：直流蒸發電源1臺，0 W～2000W連續可調，供2組蒸發源切換使用;
9、控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養維護提示等功能;
10、設備外形：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm機電一體化機架，預留1個KF40和一個CF35法蘭接口;
11、設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制(一火一零一地);
12、冷卻循環系統：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設備相關需水冷部件提供穩定的制冷水(可選)。
13、膜厚儀一臺。
設備主要優勢
1、實用性：設備集成度高，結構緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件;通過更換設備上下法蘭可以實現磁控與蒸發功能的轉換，實現一機多用;
2、方便性：設備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調試簡單，既保證了設備使用方便又保證了設備的整潔性;
3、高性價比：設備主要零部件采用進口或國內品牌，以國產設備的價格擁有進口設備的配置，從而保證了設備的質量及性能;
4、安全性：獨立開發的PLC+觸摸屏智能操作系統在傳統操作系統的基礎上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養維護提示等功能，保證了設備的使用安全性能;
5、靈活性：設備可整機(除機械泵外)放置于手套箱內，也可單獨放在實驗桌上，省去與手套箱對接接口等問題，靈活方便。
