日韩午夜在线观看,色偷偷伊人,免费一级毛片不卡不收费,日韩午夜在线视频不卡片

行業產品

  • 行業產品

北京維意真空技術應用有限責任公司


當前位置:北京維意真空技術應用有限責任公司>>>>維意真空ALD原子層沉積鍍膜設備

維意真空ALD原子層沉積鍍膜設備

返回列表頁
參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

聯系方式:于磊查看聯系方式

更新時間:2017-04-19 22:58:39瀏覽次數:1171次

聯系我時,請告知來自 環保在線

經營模式:生產廠家

商鋪產品:79條

所在地區:北京北京市

聯系人:于磊 (銷售部經理)

產品簡介

北京維意真空技術應用有限責任公司
一、設備概述:
? ? ? ?PE-ALD等離子體增強原子層沉積系統是專門為特殊應用領域的科學研究與工業開發用戶而設計的單片沉積系統,系統電氣*符合CE標準;該系統擴展了普通原子層沉積系統對前驅體源的選擇范圍、提高薄膜沉積速率和降低沉積溫度,廣泛應用于對溫度敏感材料和柔性襯底上薄膜的沉積。

二、*的軟件控制系統:系統集工藝配方、參數設備于一體。

詳細介紹

北京維意真空技術應用有限責任公司

 

一、設備概述:? ? ? ?PE-ALD等離子體增強原子層沉積系統是專門為特殊應用領域的科學研究與工業開發用戶而設計的單片沉積系統,系統電氣*符合CE標準;該系統擴展了普通原子層沉積系統對前驅體源的選擇范圍、提高薄膜沉積速率和降低沉積溫度,廣泛應用于對溫度敏感材料和柔性襯底上薄膜的沉積。二、產品優勢:? ? ? *的軟件控制系統:系統集工藝配方、參數設置、權限設定、互鎖報警、狀態監控等功能于一體.三、技術指標:? ? ? ?基片尺寸 8英寸及以下? ?基片加熱溫度 室溫~500℃,控制精度±0.1℃? ?前驅體輸運系統 標準3路前驅體管路,可選配? ?前驅體管路溫度 室溫~200℃,控制精度±0.1℃? ?源瓶加熱溫度 室溫~200℃,控制精度±0.1℃? ? ALD閥 Swagelok快速高溫ALD閥? ? 本底真空 <5*10-5Torr,進口防腐泵? ? 載氣系統 N2或者Ar? ? 生長模式 高速沉積模式和停留生長模式? ? 等離子體源 300W 感應耦合遠程等離子體? ? 等離子體放電氣源 標準3路,可選配? ? 控制系統 PLC+觸摸屏或者顯示器? ? 電源 50-60Hz, 220V/20A交流電源? ? 沉積非均勻性 非均勻性<±1%? ? 設備尺寸 1000mm x 750mm x 1600mm四、可沉積薄膜種類:? ? ?? 單 質:Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe…? ?氮化物:TiN, SiN, AlN, TaN, ZrN, HfN, WN …? ?氧化物:TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2…? ?其它化合物:GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3,SrTaO6…五、ALD應用實例:
高K柵氧化層,存儲容性電介質,銅互連中高深寬比擴散阻擋層,OLED無針孔鈍化層,MEMS的高均勻鍍膜,納米多孔結構鍍膜,特種光纖摻雜,太陽能電池,平板顯示器,光學薄膜,其它各類特殊結構納米薄膜

關鍵詞:顯示器 電池
其他推薦產品更多>>

感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環保在線 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.kindlingtouch.com,All rights reserved.

以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,環保在線對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
主站蜘蛛池模板: 民勤县| 十堰市| 金乡县| 宁晋县| 教育| 昭苏县| 马公市| 延吉市| 东乌珠穆沁旗| 肇源县| 米易县| 和平区| 馆陶县| 新野县| 明溪县| 长顺县| 马龙县| 平乡县| 广东省| 澄江县| 重庆市| 延寿县| 永仁县| 西青区| 大宁县| 阳山县| 贵州省| 绥化市| 句容市| 当阳市| 临澧县| 宿迁市| 遂宁市| 盐亭县| 马关县| 海淀区| 天长市| 措美县| 文登市| 石嘴山市| 余庆县|