真空泵設備參數：
主要類型：WLW系列立式無油真空、W型往復式真空泵、2XZ型旋片式真空泵、ZJH型羅茨真空泵、2SK型水環式真空泵、2BA型水環式真空泵、2H型滑閥真空泵、TLZ型真空泵 SL型羅茨鼓風機、JZJH2H型羅茨滑閥式真空機組、JZJHBA型羅茨水環真空機組、JZJP型羅茨水噴射真空機組、JZJHS型羅茨水環真空機組。
真空泵的選擇計算：s=2.303v/tlog(p1/p2)
其中：
s為真空泵抽氣速率(l/s)
v為真空室容積(l)
t為達到要求真空度所需時間(s)
p1為初始真空度(torr)
p2為要求真空度(torr)
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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