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CCQ-A型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，驅動閥板作上下運動，實現閥門的開啟或關閉，從而達到在超高真空系統中接通或切斷氣流的目的。
CCQ-A型系列氣動超高真空插板閥適用的工作介質為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
主要技術性能
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適用范圍(Pa) | 105～1.3x10-7 |
閥門漏率(Pa.L/S) | DN≤200為≤1.3x10-7 |
閥門烘烤溫度（℃） | ≤150(除傳動裝置外) |
開閥時閥板兩側壓力差(Pa) | ≤2.7x103 |
氣源壓力（MPa） | 0.4～0.6 |
電源電壓 | 標準出廠：AC220V/50Hz |
信號反饋 | 標準出廠：不帶反饋信號 |
主要外形連接尺寸
型號 | 通徑(DN) | ΦD | ΦD0 | ΦD1 | ΦD2 | ΦD3 | H | A | n-d | L | L1 | B | 法蘭標準 |
CCQ-50A | 50 | 89 | 72.4 | 61.6 | 55.6 | / | 60 | 91 | 8-M8 | 515 | 153 | 62 | GB/T6071 |
CCQ-63A | 63 | 114 | 92.1 | 82.6 | 76.6 | / | 65 | 105 | 8-M8 | 590 | 180 | 62 | |
CCQ-80A | 80 | 130 | 110 | 99 | 93 | / | 65 | 130 | 16-M8 | 608 | 220 | 75 | |
CCQ-100A | 100 | 152 | 130.2 | 120.7 | 114.7 | / | 70 | 152 | 16-M8 | 655 | 267 | 94 | |
CCQ-150A | 150 | 202 | 181 | 171.5 | 165.5 | / | 70 | 202 | 20-M8 | 707 | 350 | 94 | |
CCQ-200A | 200 | 254 | 231.8 | 222.3 | 216.6 | / | 80 | 251 | 24-M8 | 806 | 426 | 112 | |
CCQ-250A | 250 | 314 | 288 | 308 | 275 | 271 | 85 | 300 | 24-M10 | 1125 | 550 | 112 | JB5278 |
CCQ-300A | 300 | 365 | 338 | 353 | 323 | 318 | 90 | 352 | 32-M10 | 1195 | 613 | 140 | / |
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