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10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程發(fā)展應(yīng)降低成本提高競(jìng)爭(zhēng)力

閱讀:796發(fā)布時(shí)間:2016-5-28

  10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程發(fā)展應(yīng)降低成本提高競(jìng)爭(zhēng)力
    10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)*濕度范圍為35-45%。
    10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程氣壓規(guī)定
    對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
    1.10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
    2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
    壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
    10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程中的氣流速度規(guī)定
    這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。
    對(duì)于10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
    (1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
    (2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
    對(duì)于平行流10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程《習(xí)慣上稱(chēng)層流潔凈室),由于主要靠氣流的"活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。
    在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范)都是這樣規(guī)定的
    垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
    水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
    這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%-15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
    國(guó)外10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程的強(qiáng)度要求*,例如美國(guó)關(guān)于10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是.
    人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車(chē)間,其照度一般為(25-501x),
    用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的,所以今后10-30萬(wàn)級(jí)潔凈凈化工程的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。

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