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 等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

       經過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量，因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。

去除污染物的基本過程：

過程一：高能電子的直接轟擊；

過程二：O原子或臭氧的氧化:O2+e→2O-；

過程三：OH自由基的氧化: H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O；

過程四：分子碎片+氧氣的反應。

?低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。印刷加工廠voc廢氣治理公司?