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低溫等離子廢氣治理是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運(yùn)行。）低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

常規(guī)意義上的等離子體態(tài)是中性氣體中產(chǎn)生了相當(dāng)數(shù)量的電離。當(dāng)氣體溫度升高到其粒子的熱運(yùn)動動能與氣體的電離能可以比擬時，粒子之間通過碰撞就可以產(chǎn)生大量的電離過程。

并非只有*電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質(zhì)。當(dāng)體系中“電性”比“中性”更重要時，這一體系可稱為等離子體。

等離子技術(shù)產(chǎn)生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質(zhì)均能被分解，且處理對象廣泛，對各種工業(yè)有機(jī)廢氣及國家《惡臭污染排放標(biāo)準(zhǔn)》中規(guī)定的八大惡臭物質(zhì)均能有效去除。