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低溫等離子廢氣治理是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

常規意義上的等離子體態是中性氣體中產生了相當數量的電離。當氣體溫度升高到其粒子的熱運動動能與氣體的電離能可以比擬時，粒子之間通過碰撞就可以產生大量的電離過程。

并非只有*電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質。當體系中“電性”比“中性”更重要時，這一體系可稱為等離子體。

等離子技術產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對各種工業有機廢氣及國家《惡臭污染排放標準》中規定的八大惡臭物質均能有效去除。