Tetra-30-LF型 等離子清洗/刻蝕機
* 真空艙體 W305 mm × H300 mm × D370 mm （34 升） * 分層（zui多到6層） 電極-托盤 * 不銹鋼艙體 * 40KHz 射頻發生器 * 高效針孔電極
* 雙氣路，針閥 * 全自動控制 * 功率連續可調 0-1000W * 自動阻抗匹配 * 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 規格：W600 mm×H1700 mm× D650 mm * 電源：AC 380V/50Hz * 真空泵：萊寶Leybold Type D16B（16m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器 * 2.45 GHz 射頻發生器 * 加深艙體 D625mm * 旋轉圓筒艙體（適用于處理顆粒狀樣品）
配件選裝指南：
· 13.56MHz射頻發生器 · 2.45GHz射頻發生器 · 半自動控制系統 · 全自動控制系統- 操作輕松簡便的控制系統
· 計算機（PC）控制系統- 操作輕松簡便的控制系統同時可記錄處理的整個過程 · 附加氣體通路 · 自動真空艙門 · 設備自動門 · 條碼閱讀器
· 偏壓測量系統 · 碟型閥 · 排氣過濾系統 · 適用于腐蝕性氣體系統 · 艙體托盤可訂做- 適合艙體的*尺寸 · 粉末處理裝置 · 法拉第容器 · 氣體供給系統 - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體 · 玻璃艙體（硅酸鹽或石英） · 預熱板
· 等離子測量傳感器 - 應用在等離子聚合過程和含腐蝕性環境中 · 真空泵抽氣入口過濾器 · 標簽打印機 · 標簽閱讀機 · 加深艙體
· 單體瓶 - 輕松的控制不穩定的液體含量 · 網絡連接系統 · 聚合處理附件 · 氣瓶出氣減壓閥 · 石英玻璃皿
· 卷軸艙體系統 - 適用于批量處理薄膜、箔等 · RIE電極（適用于刻蝕） · 旋轉艙體系統 - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理
· 安全閥
· 服務條約 - 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
· 附加的配件 · 特殊的電極和托盤 · 特殊法蘭/附加法蘭 · 特殊軟件 · 特殊真空艙體 · 過程溫度測量 · 測試墨水（用于測試表面接觸角）
· 真空泵系統
