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濟寧市魯超儀器有限公司
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概述：該設備用于晶圓片擴散、蒸發、CAV生產前的清洗處理
概述：
該設備用于晶圓片擴散、蒸發、CAV生產前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序為純水清洗、清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標及可靠性達到進口同類設備水平，但價格、售后服務、備品備件的供給等是進口設備的。
主要特點：
采用進口PP板制作。
適用2-6寸硅片清洗。
超聲功率強勁，性能穩定。
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