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蘇州諾威特測控科技有限公司


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德國SENTECH公司 ICP等離子/ RIE反應離子刻蝕機---上海/蘇州/北京/廣州

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品       牌

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所  在  地蘇州市

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更新時間:2018-05-01 16:06:38瀏覽次數:1262次

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經營模式:代理商

商鋪產品:40條

所在地區:江蘇蘇州市

聯系人:夏雨 (銷售經理)

產品簡介

儀器廣泛應用于微電子、光電、納米技術、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學、生命科學、等研發領域。

詳細介紹

 德國SENTECH公司 ICP等離子/ RIE反應離子刻蝕機---上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州

    SENTECH儀器(德國)有限公司研發、制造和銷售*的薄膜測量儀器(光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀)、光伏測量儀器(在線和離線測量工具)和等離子工藝設備(等離子刻蝕機、等離子沉積系統、原子層沉積系統、用戶定制多腔系統)。

    儀器廣泛應用微電子、光電、納米技術、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學、生命科學、研發領域。

    NOVTEC寓意“科技創新",即諾威特測控科技有限公司,在德國、日本設有代表處,多年來致力于將世界的高科技產品帶給中國及亞洲的廣大用戶,并為客戶提供完善的售后服務,協助他們提高生產技術水平、競爭力及增加盈利,專業從事工業測量與測試產品的銷售與研發,擁有產品研發中心、研究院和生產工廠,技術力量雄厚。

  

 產品簡介

    SI 500為研發和小批量生產應用提供*的ICP刻蝕工藝,具備高度的靈活性和模塊化設計特點,可實現范圍廣泛的刻蝕工藝。包括刻蝕III-V化合物、II-VI化合物、介質、石英、玻璃、硅和硅化合物等。

    SI 500C低溫ICP刻蝕機,可在-100℃左右的低溫下實現深硅刻蝕。優點是刻蝕后形成非常光滑的側壁,尤其在光學應用上非常重要。同時低溫刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現刻穿樣片。

     SI 591 采用模塊化設計、具有高度靈活性,適用于III-V 化合物、聚合物、金屬盒硅刻蝕工藝,可配置為單反反應腔系統、或帶預真空室或片盒站的多腔系統。特別適用于采用氟基氣體的工藝,具有很高的工藝穩定性和重復性。

型號

SI 500

ICP刻蝕機

-30~+200℃


SI 500C

低溫ICP刻蝕機

-150~+400℃


SI 500-30

ICP刻蝕機

帶預真空室

zui大12寸晶圓

SI 591

反應離子刻蝕機

帶預真空室


Etchlab200

反應離子刻蝕機

不帶預真空室


SI500-RIE

反應離子刻蝕機

帶預真空室

帶氦氣背冷卻系統

具體型號及技術要求咨詢。

諾威特測控科技有限公司

Add:中國蘇州市*開發區金楓南路198號

:夏雨 

Tel:/

:info@novtec.hk 

http://www.novtec.hk


關鍵詞:刻蝕機 橢偏儀
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