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蘇州諾威特測控科技有限公司


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德國SENTECH公司 PECVD 氣相沉積系統---上海/蘇州/北京/廣州

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產品型號

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地蘇州市

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更新時間:2018-04-14 20:56:45瀏覽次數:1101次

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經營模式:代理商

商鋪產品:40條

所在地區:江蘇蘇州市

聯系人:夏雨 (銷售經理)

產品簡介

儀器廣泛應用于微電子、光電、納米技術、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學、生命科學、等研發領域。

詳細介紹

德國SENTECH公司 PECVD 氣相沉積系統---上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州

     SENTECH儀器(德國)有限公司研發、制造和銷售*的薄膜測量儀器(光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀)、光伏測量儀器(在線和離線測量工具)和等離子工藝設備(等離子刻蝕機、等離子沉積系統、原子層沉積系統、用戶定制多腔系統)。

    儀器廣泛應用微電子、光電、納米技術、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學、生命科學、研發領域。

    NOVTEC寓意“科技創新",即諾威特測控科技有限公司,在德國、日本設有代表處,多年來致力于將世界的高科技產品帶給中國及亞洲的廣大用戶,并為客戶提供完善的售后服務,協助他們提高生產技術水平、競爭力及增加盈利,專業從事工業測量與測試產品的銷售與研發,擁有產品研發中心、研究院和生產工廠,技術力量雄厚。

 產品簡介

    SI500D突出優點是采用平板三螺旋天線PTSA電感耦合等離子體ICP源和背部有氧氣冷卻系統的下電極,zui大樣片直徑8吋。ICPECVD感應耦合等離子增強化學氣相沉積系統SI500D滿足工藝要求,適用于器材的生產和研發應用。SI500D在基于硅烷的沉積工藝中具有出色的性能。

    SI500PPD是標準的PECVD系統,配置帶干泵的預真空室,真空反應腔配置羅茨泵和渦輪分子泵。
    Depolad200是經濟型的PECVD系統,具有模塊化設計、工藝靈活和操作簡便的特點,樣片直接放置。刻逐步進行真空系統、供氣系統的升級,以滿足更高的工藝要求。

型號

SI500D

 ICPECVD沉積系統

室溫~350℃


SI500PPD 

 PECVD沉積系統 

帶預真空室 

200℃~350℃

Depolab200 

PECVD沉積系統

不帶預真空室

 200℃~400℃

具體型號及技術要求咨詢。

諾威特測控科技有限公司

Add:中國蘇州市*開發區金楓南路198號

:夏雨 

Tel:/

:info@novtec.hk 

http://www.novtec.hk


關鍵詞:橢偏儀 刻蝕機
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