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| 輸出信號 | 開關型 | 制作工藝 | 陶瓷 |
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產品名稱：丹麥SENS4真空傳感器VPM-5
產品型號：VPM-5
產品介紹
VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導率真空測量儀的可用測量范圍擴展到1-3年來建立了新標準技術，再加上新型的準確數字信號處理架構和創新測量算法。
丹麥SENS4真空傳感器VPM-5 性能特點
l 超寬的測量范圍為9年
l 通過S4-Connect USB程序員簡化配置
l 0-10 VDC可編程電壓輸出
l 數字RS-232或RS485接口
l 穩定Zero漂移補償
l 可選的固態設定點繼電器用于過程控制
技術參數
產地：丹麥
磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％
滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％
模擬輸出分辨率：16位（150 µV）
模擬輸出更新率：124 Hz
響應時間（ISO 19685：2017）：<20 ms
溫度補償：+10至+50°C
固態繼電器設定點范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）
固態繼電器接觸評級：50 V，100 MARMS / MADC
環境條件:
操作環境溫度：-20至+50°C
介質溫度：-20至+50°C
存儲環境溫度：-40至+120°C
烘烤溫度（非操作）：+120°C
安裝位置：任意
濕度，IEC 68-2-38：98％，無調
電源:
電源電壓：12-30 VDC
功耗：240 MW（max）
反極性保護：是
電壓保護：是
內部保險絲：100 mA（可回收）
產品尺寸
產品應用
質譜儀
掃描電子顯微鏡
爐熱處理
玻璃，光學，工具等的PVD涂層
制冷服務和制造
半導體處理
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