400-900-3538
當前位置：天津賽力斯自動化科技有限公司>>電子元器件>>控制器>> ENTEGRIS流量控制器InVue6550
產品名稱：ENTEGRIS流量控制器InVue6550
產品型號：InVue6550
產品介紹：
Entegris 正在使用創新的流量控制技術解決當今的流量控制挑戰。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學品流量控制而設計。 IFC 6550 型設計的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠散裝化學品輸送應用以及需要高流量的液體處理系統。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術和的閉環過程控制。 視覺指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷，使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設計用于超純液體化學品、去離子水和 CMP 漿料應用。 它還設計用于控制氣泡產生介質。
ENTEGRIS流量控制器InVue6550 性能特點：
●使用成熟可靠的差壓流量測量技術和的閉環過程控制
●視覺指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷
●集成壓力傳感器提供額外的過程信息
●使用氣泡產生介質經過驗證的測量和控制
●堅固的設計提供穩定性和長期可靠性
●設計為 60、90 或 120 L/min流速
參數：
●流量控制精度：滿刻度的±1%（使用去離子水在23°C[73°]下校準）
●重復性：滿量程的±0.5%
●壓力測量輸出：0–689 kPa（0-100 psig）
●壓力精度：滿量程的±1%
●工作壓力：
103–552千帕（15–80磅/平方英寸）（60升/分鐘，90升/分鐘）
172–552千帕（25–80磅/平方英寸）（120升/分鐘）
●輸出信號：兩個4–20 mA電隔離輸出，一個用于流量，另一個用于壓力
●響應時間：
≥15磅/平方英寸（60升/分鐘，90升/分鐘）時<3秒
≥25磅/平方英寸（120升/分鐘）時<3秒
●非操作超壓限值：827 kPa（120 psig）
●工藝溫度：10–65°C（50–149°F）
●電氣輸入：1.2安培時為24 VDC（±10%）
●設定值輸入信號：4–20 mA，0–10 VDC
●外殼：IP54
●重量：3.2千克（7磅）
●產地：美國
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，環保在線對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
環保在線