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上海納騰儀器有限公司
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Cascade Microtech 的 EP6測量平臺是一款結構簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺，解決了一系列的測量難題。該探針臺采用了一種模塊化設計，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。
技術參數：
基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面積 Z軸可移動范圍
標準平臺 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm
多功能平臺 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2
X-Y-θ平臺 XY范圍 zui小步長 θ范圍 晶圓范圍
真空運行平臺 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm
標準平臺 155mm x 155mm 2μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 250mm
快速運行平臺 155mm x 155mm 1μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 275mm
DUT支架 卡盤 基底 平整度 三軸接頭 絕緣層 附加卡盤
150mm卡盤 150mm真空卡盤 晶圓，陶瓷 ＜10μm Yes ＞100GΩ 2個獨立的卡盤，且還有一個附加卡盤
PCB 150mm寬支架 PCB，移動裝置 NA NA NA NA
顯微鏡支架 移動范圍（XY） Z方向 zui小步長
臂式支架 ＞150mm x 150mm NA NA
LAHS顯微鏡支架 150mm x 150mm 可選，zui大為100mm 2μm
主要特點：
1. 結構簡單、多功能；
2. 平臺配置可滿足DC、RF和亞微米測量；
3. *的模塊化設計可根據客戶的需要配置和升級；
4. 量程大、可配探針配件；
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