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上海百賀儀器科技有限公司
TESCAN掃描電鏡GAIA3電鏡系統的集成了超高分辨率的電子光學系統和高性能的離子束系統,二者配置于同一樣品室上.GAIA3電鏡以MAIA3場發射掃描電鏡為平臺,在保留MAIA3*性能的基礎上,增加了使用聚焦離子束進行樣品表面處理的功能.GAIA3具有創新性的場發射電鏡設計,低電壓下仍具有出色的分辨率,大大提高了其成像能力.
GAIA3的突出特點
·單極60°電磁物鏡設計,的SEM分辨率
·的多種成像模式—大視場模式,分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN的大視場光學系統設計
·馬達控制的精準樣品臺,可進行精確的移動或傾轉操作
·Field-free模式下可對磁性樣品進行有效觀察
·高達200nA的束流強度
·停留時間低至20ns的快速電子束刻蝕速度
·FIB的Cobra光學系統,確保聚焦離子束的分辨率和優異的性能,離子束流為1pA到50nA
·強大的DrawBeam軟件包,包含許多可編程設計模塊(基礎版和高級版)來實現掃描及制樣等過程中可調參數的多樣化
·不僅具有對樣品表面進行修飾和觀察的多種功能,的空間設計還能夠使電鏡通過接口兼容多種探測設備與技術手段,且還能保持一致的分析工作距離
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