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TESCAN掃描電鏡LYRA 3 GM

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產品型號LYRA 3 GM

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更新時間：2024-02-16 16:22:20瀏覽次數：134次

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上海百賀儀器科技有限公司

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產品簡介

TESCAN掃描電鏡LYRA 3 GM是一款由計算機控制的聚焦離子束場發射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(GIS),有高真空和低真空兩種模式,其具有突出的光學性能、清晰的數字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等.

詳細介紹

分析潛力

高亮度肖特基發射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像
可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭
的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN可優化電子束光闌的中間鏡設計
結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優化
成像速度快
低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）
In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析
全計算機化優中心電動載臺設計優化了樣品操控
的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
由于使用了強力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。
全自動設置的顯微鏡包括了電子光路設置和合軸功能
網絡操作和內置遠程控制/診斷軟件為標配
3維電子束技術提供了實時立體圖像
在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa，用于觀測不導電樣品
的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應非常低
聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動高重復性光闌轉換器
聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和的性能
FIB切割、信號采集、3維重構（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能

LYRA3配置

LYRA3 GMH
裝有馬達驅動全計算機化優中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導電樣品的分析。

LYRA3 GMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。

關鍵詞：能譜儀波譜儀干式真空泵顯微鏡

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