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上海百賀儀器科技有限公司


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TESCAN掃描電鏡MAIA3 model 2016

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產品型號MAIA3 model 2016

品       牌

廠商性質經銷商

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更新時間:2024-02-16 16:03:11瀏覽次數:112次

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產品簡介

MAIA3 model 2016產品是一款具有超高表面靈敏度的高分辨掃描電子顯微鏡,在不同加速電壓下均有著出色的成像能力.MAIA3 model 2016在低電壓下也有的性能,尤其對電子束敏感的半導體器件樣品以及納米材料等都具有優異的表面靈敏度及高空間分辨率.全新的MAIA3也非常適合研究不導電試樣如原始狀態的生物樣品.

詳細介紹

主要特點:

TriglavTM——新開發的超高分辨電子光學鏡筒并配備TriLensTM物鏡及的探測系統

  • 超高分辨率物鏡(60度浸沒式物鏡),全新的用于高分辨率分析工作的無漏磁分析物鏡,
  • 重新設計用于超大視場觀察的中間鏡。
  • 的電子束無交叉模式與超高分辨率物鏡相結合,獲得了的成像性能
  • 傳統的TESCAN大視野光路設計提供各種工作和顯示模式
  • 全新的EquiPower™技術進一步提高電子束的穩定性
  • 新的肖特基場發射電子槍能使電子束流高達400nA并能實現電子束能量的快速改變
  • 通過擴展樣品室和專用支架能達到12”晶圓的SEM觀察
  • 的TriBETM技術具有三個BSE探測器,可以選擇不同角度的信號進行采集。
  • 位于鏡筒內部的Mid-Ange BSE和In-Beam LE-BSE探測器,
  • 用于檢測中等角度及軸向的高角背散射電子,而樣品室的BSE探測器用于探測大角度范圍的背散射電子。
  • 并且這三個探測器能探測到低于200eV的低能背散射信號,綜合在一起,他們可以提供各種不同襯度的圖像
  • 的TriSETM技術具有三個SE探測器,對所有工作模式下采集二次電子信號都進行了優化。
  • 位于鏡筒內部的In-Beam SE探測器能在短工作距離下采集二次電子。
  • 用于電子束減速模式下的SE(BDM)探測器用于超高分辨成像。In-Chamber SE探測器能提供的形貌襯度
  • 電子束減速技術(BDT)能在低至50eV的低電壓下,也仍具有出色的分辨率(選配)
  • 的電子束實時追蹤技術可對電子束實現實時優化
  • 擴展的低真空模式樣品室氣壓能達到500Pa,可用于不導電樣品的成像


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