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上海百賀儀器科技有限公司


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日本KOSAKA臺階儀ET200

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號ET200

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式:百賀儀器查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-02-14 14:39:01瀏覽次數(shù):69次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:1325條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:百賀儀器

產(chǎn)品簡介

日本KOSAKA臺階儀ET200用于測量半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。

詳細介紹

日本KOSAKA臺階儀ET200介紹
日本KOSAKA臺階儀ET200基于Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET200配備了各種型探針,提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設(shè)計,可直接觀察到探針工作時的狀態(tài),更方便準確的定位測試區(qū)域。

日本KOSAKA臺階儀ET200產(chǎn)品特點
二次元表面解析,可測量段差
高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示,可測定微細表面形狀、段差、粗度等
低測定力,可測定軟質(zhì)材料

日本KOSAKA臺階儀ET200技術(shù)參數(shù)

型號

ET200

樣品尺寸

φ160x48mm

樣品臺

尺寸

φ160

傾斜度

±2°(X,Y手動)

承重

2Kg

檢出器

觸針力

10μN-500μN(1mg-50mg)

范圍

600μm(0.1nm分辨率)

驅(qū)動

直動式(差動變壓器)

觸針

R2μm 頂角60°

X軸

測長

100mm

直線度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重復(fù)性

±5μm(定位)

Y軸

測長

25mm/手動

Z軸

測長

50mm

放大倍數(shù)

垂直

50-2000000

水平

1-10000

監(jiān)控系統(tǒng)

攝像裝置

1/3 inch CCD

監(jiān)視裝置

視頻捕捉板

移動方法

手動

輔助功能

教學(xué)、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等

應(yīng)用

成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度

重復(fù)性

1σ1nm

電源

AC90-240V 50/60Hz 300VA

外觀尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg(不含防震臺)



日本KOSOKA臺階儀ET200主要應(yīng)用—膜厚測量

前制程機臺(如曝光機、濺鍍機、蝕刻機)best recipe 找尋。例如:PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階測量。

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