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上海百賀儀器科技有限公司
橢偏儀 FILM SENSE可通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量,快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征.
橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄薄膜測量,
與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真寬,使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。
橢偏儀是測量比率,所以它對光束強度的變化或樣品的缺陷引起散射光不敏感。橢偏儀在每個波長測量2個量(Ψ and Δ),
可以確定2個定量比如薄膜厚度,以及光學常數或基底的折射系數和消光系數。橢偏儀對薄膜Δ參數相位差極其敏感,能夠準確的測量薄膜厚度低至0 Å。
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